[实用新型]一种新型光学基板复合晶圆镀膜结构有效
| 申请号： | 202123200927.4 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN215560603U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 余启川;王吉 | 申请（专利权）人： | 美迪凯（浙江）智能光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C16/02;G02B5/20 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人： | 张德宝 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 光学 复合 镀膜 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型光学基板复合晶圆镀膜结构，包括基板（1），其特征是，所述基板（1）上下表面抛光，基板（1）表面上均匀划分有多排多列晶圆镀膜区域，基板（1）表面上多排多列的晶圆镀膜区域间分别开设有纵横切割的具有梯度的切槽（2），基板（1）表面镀有一层镀膜层（3）。
2.根据权利要求1所述的一种新型光学基板复合晶圆镀膜结构，其特征是，所述镀膜层（3）通过真空物理气相沉积镀膜在基板（1）上。
3.根据权利要求1所述的一种新型光学基板复合晶圆镀膜结构，其特征是，所述基板（1）双面分别对应开设有纵横切割的具有梯度的切槽（2）。
4.根据权利要求1所述的一种新型光学基板复合晶圆镀膜结构，其特征是，所述基板（1）为平板玻璃、陶瓷、石英或者塑料基板。
5.根据权利要求1所述的一种新型光学基板复合晶圆镀膜结构，其特征是，所述镀膜层（3）为UV膜层、IR膜层、AR膜层、BPF膜层或者金属膜层。
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