[实用新型]一种光刻机用废料清理设备

权利要求书

1.一种光刻机用废料清理设备，包括防尘风机(3)，其特征在于：所述防尘风机(3)的输出端与连管(5)的一端连通固定，所述连管(5)上滑动设置有连板(6)，所述连板(6)的背离连管(5)的一端设置有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出端穿过连板(6)并与三角板(11)固定连接，所述三角板(11)上设置有三个安装孔，所述三角板(11)通过安装孔分别与热风管(12)、第一清洁管(13)以及第二清洁管(14)相连接，所述热风管(12)、第一清洁管(13)以及第二清洁管(14)穿过三角板(11)的一端与连管(5)的一端相配合，所述防尘风机(3)的一侧端面设置有安装板(4)，所述安装板(4)上设置有液压杆(8)，所述液压杆(8)的输出端与连板(6)的一侧端面固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用废料清理设备，其特征在于：所述连管(5)上对称设置两个弓形条(7)，所述弓形条(7)与连板(6)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机用废料清理设备，其特征在于：所述热风管(12)、第一清洁管(13)以及第二清洁管(14)上均设置有安装管(20)，所述安装管(20)与连管(5)相连通。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机用废料清理设备，其特征在于：所述连管(5)的一侧端面设置有密封环槽(10)，所述密封环槽(10)内部设置有密封垫环，所述密封环槽(10)与安装管(20)相插装，且安装管(20)的一侧端面与密封垫环的一侧端面相抵接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机用废料清理设备，其特征在于：所述防尘风机(3)的一侧端面设置有连接架(2)，所述连接架(2)上设置有连接转轴(19)，所述连接架(2)通过连接转轴(19)与安装架(1)固定连接，所述连接转轴(19)的一端设置有从动齿轮(17)，所述从动齿轮(17)与主动齿轮(16)相啮合，且主动齿轮(16)与调节电机(15)的输出端固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机用废料清理设备，其特征在于：所述安装架(1)上设置有用于确定安装架(1)安装位置的定位板(18)。