[实用新型]一种芯片翘曲测试装置有效
| 申请号: | 202123145014.7 | 申请日: | 2021-12-14 |
| 公开(公告)号: | CN216410091U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
| 发明(设计)人: | 詹鑫源 | 申请(专利权)人: | 湖北方晶电子科技有限责任公司 |
| 主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
| 代理公司: | 无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492 | 代理人: | 宋春荣 |
| 地址: | 430000 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 测试 装置 | ||
本实用新型公开一种芯片翘曲测试装置,涉及芯片测试领域。包括支撑台、翘曲测量组件、工位板和连接组件,支撑台顶端的中部开设有嵌放槽,嵌放槽内设置有旋转电机;翘曲测量组件设置在支撑台的顶端;工位板设置在支撑台顶端的中部,工位板的底端固定连接有连接套管;连接组件设置在旋转电机的输出端,连接组件包括连接杆,连接杆顶部的两侧均设置有锁定机构,锁定机构包括移动滑杆。该实用新型,通过连接组件的设计,使得工位板与旋转电机的连接能够进行自由和轻松的拆卸,这样就能欧方便直接更换工位板,此时就节省了大量在工位板处记性芯片的拆装时间,使得整个检测装置能够实现快速检测。
技术领域
本实用新型涉及芯片测试技术领域,具体为一种芯片翘曲测试装置。
背景技术
在芯片生产的检测过程中,有一个重要的测量步骤就是对于芯片翘曲度的测试,现有的设备对于芯片翘曲的测试都是采用激光扫描仪进行扫描测试,这样的测试方式快捷且准确。
现有的一种转盘式的输送扫描设备是采用一个旋转的工位板,将待检测的芯片夹定在工位板的顶端,然后再依次旋转至激光扫描仪的下方进行扫描,这样的能够进行连续多个的测试,但是由于现有设备工位板都是固定在旋转电机的输出端,且芯片需要夹定在工位板的顶端,因此在进行芯片更换检测时,还需要停机拆卸和补装芯片,这个过程就比耽误时间,不能够是设备形成快速的多个芯片的检测。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型公开了一种芯片翘曲测试装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种芯片翘曲测试装置,包括:
支撑台,所述支撑台顶端的中部开设有嵌放槽,所述嵌放槽内设置有旋转电机;
翘曲测量组件,所述翘曲测量组件设置在支撑台的顶端,且位于靠近背面的边侧;
工位板,所述工位板设置在支撑台顶端的中部,所述工位板的底端固定连接有连接套管;
连接组件,所述连接组件设置在旋转电机的输出端,所述连接组件包括连接杆,所述连接杆顶部的两侧均设置有锁定机构,所述锁定机构包括移动滑杆,所述移动滑杆的其中一端固定连接有锁定凸块。
优选的,所述翘曲测量组件包括支撑柱,所述支撑柱顶部的正面固定连接有支撑板,所述支撑板的其中一端设置有激光扫描仪。
优选的,所述连接杆顶部的两侧均开设有调节滑槽,两个所述移动滑杆分别和两个调节滑槽滑动穿插连接,两个所述调节滑槽顶端和底端的内壁均开设有导向滑槽。
优选的,两个所述移动滑杆的顶端和底端均固定连接有导向滑杆,四个所述导向滑杆分别和四个导向滑槽滑动穿插连接。
优选的,四个所述导向滑槽内均设置有控制弹簧,且四个所述控制弹簧的其中一端分别和四个导向滑槽其中一侧的内壁固定连接。
优选的,所述工位板的底端开设有连接槽,所述连接套管的顶端和连接槽顶端的内壁固定连接,所述工位板的顶端设置有多个固定槽。
优选的,所述连接套管两侧内壁的底部均开设有引导槽,所述连接套管两侧内壁的中部均开设有锁定孔,两个所述锁定孔的底部分别和两个引导槽的顶部相互贯通,两个所述锁定凸块分别与两个引导槽和两个锁定孔滑动穿插连接。
本实用新型公开了一种芯片翘曲测试装置,其具备的有益效果如下:
1、该实用新型,通过连接组件的设计,使得工位板与旋转电机的连接能够进行自由和轻松的拆卸,这样就能欧方便直接更换工位板,此时就节省了大量在工位板处记性芯片的拆装时间,使得整个检测装置能够实现快速检测。
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