[实用新型]一种具有角度调节功能的探针安装基座

说明书

本实用新型公开了一种具有角度调节功能的探针安装基座，包括探针安装平台和置于探针安装平台上的探针安装座，探针固定于探针安装座上，探针安装座上连接有用于调节探针安装座高度和角度的调节装置，调节装置包括呈三角形排列布置在探针安装座上的三升降调节机构；升降调节机构包括顶端连接有微分头且底端置于探针安装平台上的伸缩支杆；本实用新型的探针安装基座，通过呈三角形排列布置在探针安装座上的三升降调节机构，实现探针安装座高度和角度的调节，使得安装在探针安装座上的探针获得需要的姿态，满足量子钻石原子力显微镜中探针对样品进行扫描。

技术领域

本实用新型属于量子钻石原子力显微镜领域，更具体的说涉及一种具有角度调节功能的探针安装基座。

背景技术

QDAFM(量子钻石原子力显微镜)的测样动作是探针在样品表面进行扫描，探针结构精细，为保证扫描过程中探针不至于撞坏在样品表面，就要求探针具有合适的姿态。实际由于加工和装配误差，探针初始姿态往往很难达到测试的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有角度调节功能的探针安装基座，实现对探针测试时的姿态进行调节，以满足探针对样品进行扫描。

本实用新型技术方案一种具有角度调节功能的探针安装基座，包括探针安装平台和置于所述探针安装平台上的探针安装座，探针固定于所述探针安装座上，所述探针安装座上连接有用于调节所述探针安装座高度和角度的调节装置，所述调节装置包括呈三角形排列布置在所述探针安装座上的三升降调节机构；所述升降调节机构包括顶端连接有微分头且底端置于所述探针安装平台上的伸缩支杆；

所述伸缩支杆底部设置为球头，所述探针安装平台上设置有圆锥形盲孔，所述球头置于所述圆锥形盲孔内。

优选地，所述微分头包括与所述伸缩支杆顶部固定的微分筒和套设在所述伸缩支杆外部的固定套管，所述固定套管与所述伸缩支杆螺接，所述探针安装座与所述固定套管固接；通过旋动所述微分筒和伸缩支杆，带动所述固定套管沿伸缩支杆轴线方向移动。

优选地，所述固定套管底端穿过所述探针安装座并固接有固定螺母，所述固定螺母将所述探针安装座锁定在所述固定套管上。

优选地，所述固定套管上沿径向方向设置有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓穿过所述固定套管实现所述伸缩支杆锁定。

优选地，所述探针安装座为三角板，三升降调节机构分别布置在三角板的三个顶角位置，所述探针设置在三角板内侧面上，所述探针安装平台上设置有朝向探针的观察窗。

本实用新型技术方案的一种具有角度调节功能的探针安装基座的有益效果是：通过呈三角形排列布置在探针安装座上的三升降调节机构，实现探针安装座高度和角度的调节，实现探针安装座在空间上六自由度的调节，使得安装在探针安装座上的探针获得需要的姿态，满足量子钻石原子力显微镜中探针对样品进行扫描。

附图说明

图1本技术方案的一种具有角度调节功能的探针安装基座结构示意图，

图2为升降调节机构结构示意图；

图3为伸缩支杆与探针安装座连接示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型技术方案，现结合说明书附图对本实用新型技术方案做进一步的说明。

如图1和图2所示，本实用新型技术方案一种具有角度调节功能的探针安装基座，包括探针安装平台7和置于探针安装平台7上的探针安装座5，探针6固定于探针安装座5上。探针安装平台7上设置有朝向探针6的观察窗，探针6由观察窗位置对置于探针安装平台7下部的样品进行扫描。

探针安装座5上连接有用于调节探针安装座5高度和角度的调节装置，调节装置包括呈三角形排列布置在探针安装座5上的三升降调节机构。升降调节机构包括顶端连接有微分头1且底端置于探针安装平台7上的伸缩支杆3。