[实用新型]一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构

说明书

本实用新型公开一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，包括：两对称设置的喷淋架、用于驱动所述喷淋架进行上下移动的Z向移动驱动组件、顶板、安装在所述顶板上的X向移动驱动组件，所述Z向移动驱动组件与所述X向移动驱动组件连接，所述喷淋架与所述Z向移动驱动组件连接，所述喷淋架上设置有若干喷淋口；所述X向移动驱动组件用于驱动所述Z向移动驱动组件、喷淋架进行X向移动。本实用新型可降低直线运动的固定点震荡或药水浓度不均匀等导致的腐蚀不均匀的问题，提高喷淋腐蚀效果。

技术领域

本实用新型涉及显影喷淋装置领域，尤其涉及一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构。

背景技术

现有技术中，垂直显影、喷淋湿法蚀刻机在主管路上安置多个喷头，喷头布局呈正三角均匀分布，带动喷淋架移动的移动驱动机构的运动方式为上下直线运动。然而，在实际应用中，由于药水湿法腐蚀不均匀，喷淋架的运动轨迹固定的问题，导致显影效果不佳，腐蚀的均匀性不高；另一方面，喷淋架只能进行垂直方向上的运动，无法同时实现水平和垂直方向上的运动，用户无法随意控制喷淋架的运动方向，实用性较低。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，解决现有技术中，喷淋腐蚀不均匀的问题；解决喷淋架无法同时进行水平和垂直方向上的运动，实用性较低的问题。

本实用新型的技术方案如下：一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，包括：两对称设置的喷淋架、用于驱动所述喷淋架进行上下移动的Z向移动驱动组件、顶板、安装在所述顶板上的X向移动驱动组件，所述Z向移动驱动组件与所述X向移动驱动组件连接，所述喷淋架与所述Z向移动驱动组件连接，所述喷淋架上设置有若干喷淋口；所述X向移动驱动组件用于驱动所述Z向移动驱动组件、喷淋架进行X向移动。

进一步地，所述X向移动驱动组件包括：第一旋转驱动装置、与所述第一旋转驱动装置输出端连接的第一丝杆、与所述第一丝杆螺纹连接的第一移动座、设置在所述顶板上的第一滑轨、设置在所述第一滑轨上的第一滑块，所述第一移动座与所述第一滑块连接。

进一步地，所述Z向移动驱动组件包括：安装于所述第一移动座上的固定座、设置在所述固定座上的第二旋转驱动装置、与所述第二旋转驱动装置输出端连接的同步组件、与所述同步组件连接的第二丝杆、与所述第二丝杆螺纹连接的第二移动座、设置在所述第二移动座上的若干定位轴。

进一步地，所述Z向移动驱动组件还包括：设置在所述固定座上的第二滑轨、设置在所述第二滑轨上的第二滑块，所述第二移动座与所述第二滑块连接。

进一步地，所述顶板上设置有若干定位孔，所述定位轴设置在所述定位孔内；所述喷淋架与所述定位轴连接。

进一步地，所述同步组件包括：与所述第二旋转驱动装置输出端连接的第一同步轮、第二同步轮、套在所述第一同步轮和第二同步轮上的同步带，所述第二丝杆与所述第二同步轮连接。

进一步地，所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，还包括：两导向架、设置在所述导向架上的连接板、与所述导向架连接的上导轮和下导轮，所述连接板与所述第一移动座连接，所述顶板的底部设置有与所述上导轮相配合的第三滑轨，所述导向架的底侧设置有与所述下导轮相配合的第四滑轨。

进一步地，所述喷淋架设置在所述导向架内，所述喷淋架的两侧上设置有导向件，所述导向件套在所述导向架上。

进一步地，所述导向件包括：固定板、可旋转地安装于所述固定板上的两滚轮。

进一步地，所述第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置均为伺服电机。

采用上述方案，本实用新型提供一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，具有以下有益效果：

1、降低了直线运动的固定点震荡或药水浓度不均匀等导致的腐蚀不均匀的问题，提高喷淋腐蚀效果；