[实用新型]一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构

权利要求书

1.一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，包括：两对称设置的喷淋架、用于驱动所述喷淋架进行上下移动的Z向移动驱动组件、顶板、安装在所述顶板上的X向移动驱动组件，所述Z向移动驱动组件与所述X向移动驱动组件连接，所述喷淋架与所述Z向移动驱动组件连接，所述喷淋架上设置有若干喷淋口；所述X向移动驱动组件用于驱动所述Z向移动驱动组件、喷淋架进行X向移动。

2.根据权利要求1所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述X向移动驱动组件包括：第一旋转驱动装置、与所述第一旋转驱动装置输出端连接的第一丝杆、与所述第一丝杆螺纹连接的第一移动座、设置在所述顶板上的第一滑轨、设置在所述第一滑轨上的第一滑块，所述第一移动座与所述第一滑块连接。

3.根据权利要求2所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述Z向移动驱动组件包括：安装于所述第一移动座上的固定座、设置在所述固定座上的第二旋转驱动装置、与所述第二旋转驱动装置输出端连接的同步组件、与所述同步组件连接的第二丝杆、与所述第二丝杆螺纹连接的第二移动座、设置在所述第二移动座上的若干定位轴。

4.根据权利要求3所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述Z向移动驱动组件还包括：设置在所述固定座上的第二滑轨、设置在所述第二滑轨上的第二滑块，所述第二移动座与所述第二滑块连接。

5.根据权利要求3所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述顶板上设置有若干定位孔，所述定位轴设置在所述定位孔内；所述喷淋架与所述定位轴连接。

6.根据权利要求3所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述同步组件包括：与所述第二旋转驱动装置输出端连接的第一同步轮、第二同步轮、套在所述第一同步轮和第二同步轮上的同步带，所述第二丝杆与所述第二同步轮连接。

7.根据权利要求2所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，还包括：两导向架、设置在所述导向架上的连接板、与所述导向架连接的上导轮和下导轮，所述连接板与所述第一移动座连接，所述顶板的底部设置有与所述上导轮相配合的第三滑轨，所述导向架的底侧设置有与所述下导轮相配合的第四滑轨。

8.根据权利要求7所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述喷淋架设置在所述导向架内，所述喷淋架的两侧上设置有导向件，所述导向件套在所述导向架上。

9.根据权利要求8所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述导向件包括：固定板、可旋转地安装于所述固定板上的两滚轮。

10.根据权利要求3所述的一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，其特征在于，所述第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置均为伺服电机。