[实用新型]一种刀粒真空镀膜装载架有效
申请号: | 202122819467.7 | 申请日: | 2021-11-17 |
公开(公告)号: | CN217052384U | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 刘俊红;刘伟;朱豪威;牛建文;王迪 | 申请(专利权)人: | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458;B08B3/02;B08B3/10 |
代理公司: | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人: | 郭清秀 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 装载 | ||
1.一种刀粒真空镀膜装载架,包括刀粒安装架,其特征在于:所述刀粒安装架呈瓦状结构,包括瓦状底板、瓦状顶板、支撑杆和刀粒杆;所述瓦状顶板和所述瓦状底板上下对应设置,所述支撑杆设于所述瓦状顶板和所述瓦状底板之间并位于内侧,所述支撑杆和所述瓦状底板之间固定安装,所述支撑杆和所述瓦状顶板之间可拆卸安装;所述刀粒杆设于所述瓦状顶板和所述瓦状底板之间并位于外侧,所述刀粒杆和所述瓦状底板之间转动连接,所述刀粒杆和所述瓦状顶板之间转动连接;所述刀粒杆的下段还固定安装有拨动齿轮。
2.根据权利要求1所述的一种刀粒真空镀膜装载架,其特征在于:所述支撑杆和所述刀粒杆的顶部均采用台阶轴结构,所述瓦状顶板上设有和所述支撑杆对应的支撑杆安装孔,所述瓦状顶板上还设有和所述刀粒杆对应的刀粒杆安装孔。
3.根据权利要求1所述的一种刀粒真空镀膜装载架,其特征在于:还包括固定筒,所述固定筒呈圆柱状结构,所述刀粒安装架围设于所述固定筒的周侧并与所述固定筒可拆卸安装;所述固定筒的底部设有下安装盘,所述固定筒的顶部设有上安装盘,所述下安装盘上设有若干第一定位销,所述瓦状底板上设有和所述第一定位销对应的下定位孔,所述上安装盘上设有若干第一活动销,所述瓦状顶板上设有和所述第一活动销对应的上定位孔。
4.根据权利要求3所述的一种刀粒真空镀膜装载架,其特征在于:还包括清洗框,所述清洗框为矩形框架结构,所述清洗框的两侧内壁上分别设有第二定位销和第二活动销,所述第二定位销和所述下定位孔对应,所述第二活动销和所述上定位孔对应。
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