[实用新型]高真空气动挡板过滤式充气组合阀

说明书

本实用新型涉及真空阀技术领域，提出了高真空气动挡板过滤式充气组合阀，包括阀体、伸缩件和阀板，阀体具有内腔、接泵口和抽气口，接泵口和抽气口与内腔连通，接泵口连接在真空泵上，抽气口连接在设备上，伸缩件设置在阀体上，阀板设置在伸缩件伸缩端，伸缩件带动阀板在内腔中移动，阀板移动后关闭抽气口。通过上述技术方案，解决了现有技术中真空阀的密封性差的问题。

技术领域

本实用新型涉及真空阀技术领域，具体的，涉及高真空气动挡板过滤式充气组合阀。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。在镀膜时需要对镀膜设备保持真空，抽取真空之后通过真空阀对设备进行密封保持真空，一般使用的真空阀是压差阀和电磁带充气阀，通过压差阀或电磁带充气阀密封设备抽气口使设备保持密封，但是压差阀密封性太差，使用一段时间后需要重新抽取真空；电磁带充气阀持续充电密封，电磁机构发热严重，密封胶圈损坏快，导致密封性减弱。

实用新型内容

本实用新型提出高真空气动挡板过滤式充气组合阀，解决了相关技术中真空阀的密封性差的问题。

本实用新型的技术方案如下：

高真空气动挡板过滤式充气组合阀，包括

阀体，所述阀体具有内腔、接泵口和抽气口，所述接泵口和所述抽气口与所述内腔连通，所述接泵口连接在真空泵上，所述抽气口连接在设备上，

伸缩件，设置在所述阀体上，

阀板，设置在所述伸缩件伸缩端，所述伸缩件带动所述阀板在所述内腔中移动，所述阀板移动后关闭所述抽气口。

作为进一步的技术方案，所述内腔在所述抽气口处具有密封槽，还包括

凸台，设置在所述阀板上，所述凸台随所述阀板移动后进入所述密封槽，所述凸台与所述密封槽为密封配合。

作为进一步的技术方案，还包括

密封装置，设置在所述阀体上，位于所述伸缩件处，通过所述密封装置将伸缩件伸缩端和所述阀体密封。

作为进一步的技术方案，还包括

充气装置，设置在所述阀体上，所述充气装置与所述内腔连通。

作为进一步的技术方案，还包括

空气滤清器，设置在所述阀体上，所述充气装置通过所述空气滤清器与所述内腔连通，所述空气滤清器用于过滤气体中的杂质。

作为进一步的技术方案，所述阀体具有固定槽，所述伸缩件伸缩端位于所述固定槽内，还包括

固定板，设置在所述伸缩件伸缩端，通过紧固件将所述固定板与所述阀板紧固，所述固定板将所述伸缩件伸缩端固定在所述固定槽内。

作为进一步的技术方案，所述阀板与所述抽气口之间通过密封胶条进行密封。

本实用新型的工作原理及有益效果为：

真空镀膜是在真空状态下进行对金属或非金属进行镀膜，真空泵与镀膜设备之间连接有真空阀，真空泵抽真空时真空阀打开，镀膜设备达到真空状态后，真空泵停止运行，真空阀关闭，将镀膜设备密封住，是镀膜设备保持真空；一般的真空阀为压差阀和电磁带充气阀，压差阀密封性较差，长时间使用后，镀膜设备内不能保持真空状态，需要再次抽取真空；电磁带充气阀长时间工作后电磁机构发热，损坏胶圈，密封性下降，也不能保持镀膜设备真空。