[实用新型]一种真空镀膜机的冷凝回收装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种真空镀膜机的冷凝回收装置，包括冷凝箱、冷凝板和密封板；所述冷凝箱的顶端设有进气口，且冷凝箱的底端设有排液口；所述冷凝板包括矩形边框、导热片和冷却管，所述导热片设有多组且安装在矩形边框的内侧，所述冷却管镶嵌在导热片上，且导热片的两端分别从矩形边框的上下两端导出。该真空镀膜机的冷凝回收装置，通过进水口向冷凝箱中注入冷却水，使冷却水注满两个密封板之间的空间，对冷凝板进行降温，如此镀膜材料的气体从进气口导入，并经过密封板导向冷却管中，镀膜材料的气体在冷却管中冷凝，并沿着冷却管充分其内壁接触。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机的冷凝回收装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前在镀膜工艺中，真空镀膜多余的镀膜材料会被真空泵抽离而排走，若不对多余的镀膜材料进行回收，不但会造成资源的浪费，还会污染环境，因此，目前在真空镀膜机中主要通过冷凝回收装置回收镀膜材料。然而，现有的真空镀膜机冷凝回收效率低。

现有公开号为CN205603661U的实用新型提出了一种真空镀膜机的冷凝回收装置，提高了冷凝回收效率，且连接强度高、密封性能好，但气体中的镀膜材料与冷凝管接触时间低，难以将气体中的镀膜材料快速冷凝，因此造成了浪费，且回收效率依旧不高，为此我们提出了一种真空镀膜机的冷凝回收装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机的冷凝回收装置。

本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机的冷凝回收装置，包括冷凝箱、冷凝板和密封板；

所述冷凝箱的顶端设有进气口，且冷凝箱的底端设有排液口；

所述冷凝板包括矩形边框、导热片和冷却管，所述导热片设有多组且安装在矩形边框的内侧，所述冷却管镶嵌在导热片上，且导热片的两端分别从矩形边框的上下两端导出；

所述冷凝板设有多块且排布在两个密封板之间，且冷却管的两端分别与密封板导通，所述密封板安装在冷凝箱的内部，所述冷凝箱上安装有位于两个密封板之间的进水口和排水口，所述冷凝箱上安装有位于底端密封板下方的排气口。

优选的，所述排水口的位置高于进水口的位置，且进水口和排水口分别安装在靠近两个密封板处的冷凝箱上。

优选的，所述冷却管为多组冷却直管和弯管连接而成的弓形管道，且两组冷却直管通过弯管连通。

优选的，所述进水口向冷凝箱注入蒸馏水。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

该真空镀膜机的冷凝回收装置，通过进水口向冷凝箱中注入冷却水，使冷却水注满两个密封板之间的空间，对冷凝板进行降温，如此镀膜材料的气体从进气口导入，并经过密封板导向冷却管中，镀膜材料的气体在冷却管中冷凝，并沿着冷却管充分其内壁接触，而弓形的冷却管保证了镀膜材料充分与冷却管接触，可将气体中的绝大部分镀膜材料冷凝，如此冷却形成的水滴顺着冷却管滴落，其回收效率更高。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型冷凝板的结构示意图。

图中：1、冷凝箱；2、冷凝板；21、矩形边框；22、导热片；23、冷却管；3、密封板；4、进气口；5、排液口；6、进水口；7、排水口；8、排气口。

具体实施方式