[实用新型]一种单面光刻机有效
| 申请号： | 202122620444.3 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN216622958U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 | 申请（专利权）人： | 四川鸿源鼎芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 | 代理人： | 左正超 |
| 地址： | 610199 四川省成都市龙泉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单面 光刻 | ||
1.一种单面光刻机，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)上安装有升降单元(2)、曝光台(3)和曝光机构，升降单元(2)位于曝光台(3)下方，升降单元(2)的自由端安装有XYY平台(4)，XYY平台(4)的自由端上滑动安装有承片台(5)；曝光机构位于曝光台(3)上方，曝光台(3)上设有XYZ三轴运动机构(6)，XYZ三轴运动机构(6)上设有摄像头(7)。
2.根据权利要求1所述的单面光刻机，其特征在于：所述XYZ三轴运动机构(6)包括X轴直线滑台(61)、安装在X轴直线滑台(61)的自由端上的Y轴直线滑台(62)、安装在Y轴直线滑台(62)的自由端上的Z轴直线滑台(63)、安装在Z轴直线滑台(63)的固定端上的安装座(64)，安装座(64)上安装有支撑杆(65)，摄像头(7)安装在支撑杆(65)上。
3.根据权利要求2所述的单面光刻机，其特征在于：所述安装座(64)上可拆卸的安装有盖板(66)，支撑杆(65)位于盖板(66)和安装座(64)之间。
4.根据权利要求1所述的单面光刻机，其特征在于：所述XYY平台(4)上设有用于感应承片台(5)的传感器。
5.根据权利要求1所述的单面光刻机，其特征在于：所述曝光机构上罩设有保护罩(8)。
6.根据权利要求1所述的单面光刻机，其特征在于：所述机架(1)包括多根立柱，立柱的底部设有带自锁的万向轮(9)。
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