[实用新型]光束稳定系统及检测设备

说明书

本申请公开了一种光束稳定系统及检测设备，激光光源发出的光线依次经过第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜后传出光束稳定系统；光线经过第二反射镜后，部分光线透射经过第二反射镜，并传输至第一探测器；光线经过第四反射镜后，部分光线透射经过第四反射镜，并传输至第二探测器。当激光光源发出的光线不稳定发生偏移时，在第一探测器与第二探测器上的光斑同时发生偏移，可以通过传输至第一探测器以及第二探测器上的光斑位置对第一反射镜以及第二反射镜进行调整，从而使光束稳定系统的出光方向保持稳定，通过光束稳定系统，能够降低激光光源出射光线不稳定造成的影响，从而提高激光光源出射光线的稳定性。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种光束稳定系统及检测设备。

背景技术

在光学系统中，激光指向的稳定性关乎整个设备的效用。当外界机械振动、温度变化或者激光器换点时，激光的指向都会发生些许变化。如果变化过大，激光就不能严格通过光学器件的中心，造成光束整形偏差，继而影响设备的稳定性。在这种应用情况下，通常需要设计光束稳定模块将指向偏离的激光光束纠正回正确位置。目前的光束稳定系统中，利用位置传感器与机械螺杆镜架配合对光束进行稳定，但该技术在系统光路，机械式的螺杆镜架响应速度极慢，并不能及时应对外界振动引起的激光光束指向偏离。

实用新型内容

本申请实施例提供一种光束稳定系统及检测设备。

第一方面，本申请实施例提供一种光束稳定系统，所述光束稳定系统包括激光光源，第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一调节组件、第二调节组件、第一探测器以及第二探测器，

所述第一调节组件与所述第一反射镜连接，用于调整所述第一反射镜的偏转角度；所述第二调节组件与所述第二反射镜连接，用于调整所述第二反射镜的偏转角度；

所述激光光源发出的光线依次经过所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述第三反射镜、所述第四反射镜后传出所述光束稳定系统；

所述光线经过所述第二反射镜后，部分光线透射经过第二反射镜，并传输至所述第一探测器；所述光线经过所述第四反射镜后，部分光线透射经过第四反射镜，并传输至所述第二探测器。

可选的，所述光线在所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述第三反射镜、所述第四反射镜的入射角均为45度。

可选的，所述光束稳定系统还包括第五反射镜及第六反射镜，所述第四反射镜与所述第五反射镜相对设置，所述光线经过所述第一反射镜反射后，传输至所述第五反射镜以及第六反射镜，再传输至所述第二反射镜。

可选的，所述光束稳定系统还包括第七反射镜，所述第七反射镜设于所述第四反射镜与所述第二探测器之间，所述光线透射经过所述第四反射镜后，被所述第七反射镜反射后传输至所述第二探测器。

可选的，所述第一调节组件包括第一平板、第二平板、第三平板、第一连接部、第二连接部、第一压电陶瓷以及第二压电陶瓷，所述第一平板与所述第二平板通过第一连接部连接，所述第二平板与所述第三平板通过第二连接部连接，所述第一压电陶瓷设于所述第一平板与所述第二平板之间，所述第二压电陶瓷设于所述第二平板与所述第三平板之间，所述第一压电陶瓷用于调节所述第一平板与第二平板之间的距离与夹角，所述第二压电陶瓷用于调节所述第二平板与第三平板之间的距离与夹角。

可选的，所述第一连接部设于所述第一平板与所述第二平板的一侧边缘，所述第一平板相对所述第一连接部的延伸方向与所述第二平板相对所述第一连接部的延伸方向相同；

所述第二连接部设于所述第二平板与所述第三平板的一侧边缘，所述第一平板相对所述第一连接部的延伸方向与所述第二平板相对所述第一连接部的延伸方向相同，所述第二连接部的延伸方向与所述第一连接部的延伸方向相垂直。