[实用新型]一种串联型柔性两自由度精密运动平台

权利要求书

1.一种串联型柔性两自由度精密运动平台，其特征在于，包括外框架、Y向运动支撑框架、串联型双平行四边形柔性导向机构、并联型双平行四边形柔性导向机构、运动平台、X向压电驱动器和Y向压电驱动器；所述外框架与其内部的所述Y向运动支撑框架通过所述串联型双平行四边形柔性导向机构连接为一体；所述Y向运动支撑框架的两侧通过所述并联型双平行四边形柔性导向机构及所述并联型双平行四边形柔性导向机构之间的所述运动平台连接为一体；所述串联型双平行四边形柔性导向机构与所述并联型双平行四边形柔性导向机构垂直正交布置；水平分布的所述X向压电驱动器一端固定在所述外框架上，所述X向压电驱动器另一端固定在所述Y向运动支撑框架上；竖直分布的所述Y向压电驱动器一端固定在所述运动平台上，所述Y向压电驱动器另一端固定在所述Y向运动支撑框架上。

2.根据权利要求1所述的一种串联型柔性两自由度精密运动平台，其特征在于，所述串联型双平行四边形柔性导向机构由四个X向运动导向梁构成；所述并联型双平行四边形柔性导向机构由四个Y向运动导向梁构成。

3.根据权利要求1或2所述的一种串联型柔性两自由度精密运动平台，其特征在于，所述X向压电驱动器和所述Y向压电驱动器均为压电材料。