[实用新型]一种氦气密封治具

说明书

本实用新型涉及化工技术领域，具体设计一种氦气密封治具，包括中空的套筒，所述套筒的一端设置有连接套，其特征在于：所述套筒与所述连接套之间为螺纹连接，在所述套筒与所述连接套的轴向抵接面上设置有环形凹槽，在所述环形凹槽内设置有密封圈，所述连接套远离套筒的一端设置有盖板，所述盖板与所述连接套之间设置有密封圈，所述盖板远离连接套的一端还设置有压紧套壳，所述压紧套壳与所述连接套连接，将所述盖板压紧在所述套筒上。

技术领域

本实用新型涉及化工技术领域，具体设计一种氦气密封治具。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

现有的尼龙治具在实际生产过程中，密封圈密封不彻底，导致在进行阳极作业时药液非常容易灌入产品内部，造成产品不合格或保费等，而且安装繁琐，存在漏气及漏液体等现象。

发明内容

本实用新型的目的在于：针对目前氦气密封治具在使用过程中存在的密封不严密的不足，提供了一种氦气密封治具。

为了实现上述发明目的，本实用新型提供了以下技术方案：

一种氦气密封治具，包括中空的套筒，所述套筒的一端设置有连接套，其特征在于：所述套筒与所述连接套之间为螺纹连接，在所述套筒与所述连接套的轴向抵接面上设置有环形凹槽，在所述环形凹槽内设置有密封圈，所述连接套远离套筒的一端设置有盖板，所述盖板与所述连接套之间设置有密封圈，所述盖板远离连接套的一端还设置有压紧套壳，所述压紧套壳与所述连接套连接，将所述盖板压紧在所述套筒上

作为优选的技术方案，在所述连接套也设置有环形凹槽，所述连接套上的环形凹槽与所述套筒上的环向凹槽相对，位于所述套筒上的环向凹槽的深度大于位于所述连接套上的环形凹槽的深度。

作为优选的技术方案，所述连接套与所述压紧套壳之间为螺纹连接。

作为优选的技术方案，所述压紧套壳为一端敞开的中空筒体状结构，所述压紧套壳将所述盖板包覆在内。

作为优选的技术方案，所述压紧套壳的中部还设置有缺口。

作为优选的技术方案，所述套筒与所述连接套的相对端面平整光滑。

作为优选的技术方案，所述套筒、连接套和压紧套壳的外径相同。

作为优选的技术方案，所述盖板为封板或者为中部设置有连接缺口的连接板，当所述盖板为封板时，盖板封闭所述套筒的该端部。

作为优选的技术方案，所述盖板上缺口的直径小于所述压紧套壳上的缺口的直径。

作为优选的技术方案，所述密封圈为O型密封圈。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

在本申请的方案中，在密封圈连接部分采用螺纹结构，提升所述治具本体的密封效果，并且对与传统治具中密封圈安装不便问题，特别是解决了密封不可控，连接套容易因套筒内气压过大导致移位甚至脱落的问题，在放置密封圈处设置与所述密封圈相匹配的密封圈槽，进一步的提高密封效果，并且将上部盖板进行可拆卸的设计并且设计多种盖板形式为各种使用场景所应用。

附图说明：

图1为氦气密封治具的结构示意图；

图中标示：1-套筒，2-连接套，3-压紧套壳，4-密封圈，5-盖板。

具体实施方式