[实用新型]一种抛光研磨浆料用的冷却装置

权利要求书

1.一种抛光研磨浆料用的冷却装置，其包括具有进口、出口、及冷却腔的通道；及冷却部件，其中抛光研磨浆料自所述进口进入所述冷却腔后自所述出口排出，其特征在于：所述冷却部件包括多个相对隔开设置的冷却单元，每个所述冷却单元包括位于所述冷却腔内部的冷却管路、分别与所述冷却管路相连通的进液管路和出液管路，其中所述冷却管路连续弯折设置在所述进液管路和出液管路之间，且多根所述冷却管路之间自弯折部相对错位分布；所述冷却装置还包括设置在所述进口处的过滤部件；

所述冷却部件还包括分别与每根所述进液管路和每根所述出液管路相连通的循环管路，其中冷却介质在所述冷却部件中循环流动。

2.根据权利要求1所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述进口和所述出口对应设置在所述通道的两端，所述进液管路位于所述通道上所述出口所在端部，所述出液管路位于所述通道上所述进口所在端部。

3.根据权利要求2所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述冷却管路位于所述进口和所述出口之间。

4.根据权利要求3所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述冷却腔为柱形腔，每根所述冷却管路沿着柱形腔长度方向呈螺旋分布。

5.根据权利要求4所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述柱形腔的横截面呈圆形，多根所述冷却管路均匀分布在圆形的柱形腔内。

6.根据权利要求5所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：多根所述冷却管路中的一根位于圆形的中心，剩余所述冷却管路绕着圆形的中心呈阵列分布。

7.根据权利要求4所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述进液管路和所述出液管路分别自所述柱形腔的两端部向外延伸，所述冷却装置还包括设置在所述通道两端部的第一接头和第二接头，其中多根所述进液管路相隔开且自所述第一接头中穿出、并与冷却介质控制阀相串通；多根所述出液管路相隔开并与所述第二接头的内腔相连通，或多根所述出液管路相隔开且自所述第二接头中穿出。

8.根据权利要求7所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述柱形腔水平设置时，所述进口位于所述出口的下方，且所述进口和所述出口对应设置在所述柱形腔左右两端。

9.根据权利要求1所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述过滤部件为拦截设置在所述进口处的滤网。

10.根据权利要求9所述的抛光研磨浆料用的冷却装置，其特征在于：所述滤网的网孔直径为d，其中500µm≤d≤600µm。