[实用新型]一种适用于多种制程的多尺寸晶圆边缘曝光装置

权利要求书

1.一种适用于多种制程的多尺寸晶圆边缘曝光装置，其特征在于，包括：主控制系统(1)，以及与主控制系统(1)连接的CCD数据采集系统(3)、光源组(4)以及设有可承载待曝光晶圆(5)的三轴联动平台(6)；

其中，所述CCD数据采集系统(3)和光源组(4)分别安装于三轴联动平台(6)的相邻两侧；

所述CCD数据采集系统(3)，包括：CCD安装支架(305)，以及设置在CCD安装支架(305)上的发射头(301)和接收头(303)，所述发射头(301)和接收头(303)之间的空间为光感区(302)，以使待曝光晶圆(5)的边缘设于光感区(302)内，所述发射头(301)通过信号传输线(2)与主控制系统(1)连接，所述接收头(303)内设有CCD传感器(304)，经信号传输线(2)与主控制系统(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于多种制程的多尺寸晶圆边缘曝光装置，其特征在于，所述光源组(4)，包括：光源装置(401)、固定支架(402)、镜头组固定架(409)、传导光纤(403)、光源数据通信器(7)、镜头组固定座(404)、镜头组调整架(405)、聚焦透镜(407)、光斑成型罩(408)以及镜头组固定块(410)；

所述镜头组固定座(404)固设于三轴联动平台的一侧；镜头组固定座(404)上设有镜头组固定架(409)，所述镜头组固定座(404)与镜头组固定架(409)为一体结构，所述镜头组固定架(409)上设有镜头组调整架(405)；

所述镜头组调整架(405)一端与镜头组固定架(409)螺纹连接，另一端与镜头组固定块(410)固接；

所述光源装置(401)通过固定支架(402)安装在地面上，所述光源装置(401)的接收端经光源数据通信器(7)通过信号传输线(2)与主控制系统连接；

所述光源装置(401)发射的光斑经传导光纤(403)、依次通过聚焦透镜(407)以及光斑成型罩(408)以将发射的光斑聚焦在待曝光晶圆(5)边缘上。

3.根据权利要求2所述的一种适用于多种制程的多尺寸晶圆边缘曝光装置，其特征在于，所述镜头组固定架(409)的纵轴线与镜头组固定块(410)的纵轴线平行。

4.根据权利要求2所述的一种适用于多种制程的多尺寸晶圆边缘曝光装置，其特征在于，所述镜头组固定架(409)与镜头组调整架(405)之间的夹角为90°；

所述镜头组调整架(405)与镜头组固定块(410)之间的夹角为90°。

5.根据权利要求2所述的一种适用于多种制程的多尺寸晶圆边缘曝光装置，其特征在于，所述镜头组固定块(410)上设有光纤固定架(406)，所述光纤固定架(406)套设在传导光纤(403)上。

6.根据权利要求2所述的一种适用于多种制程的多尺寸晶圆边缘曝光装置，其特征在于，所述镜头组固定架(409)上设有多个调节镜头组调整架(405)的螺孔，上下相邻的螺孔间的间距固定。