[实用新型]一种具有管路支撑功能的晶体炉

说明书

一种具有管路支撑功能的晶体炉，包括晶体炉本体、突出设置于晶体炉本体的顶盖上的进料管，及设置于晶体炉本体的顶盖上的管路支撑结构；管路支撑结构包括若干与顶盖垂直连接的支撑柱及与支撑柱的顶部连接的支撑板；进料管用于与外部的管道连接；支撑板的形状为半圆形，支撑板的圆心处开设有半圆形的抵靠口，外部的管道与进料管连接后位于抵靠口处并与支撑板抵接。如此在进料管的一侧设置有支撑板，支撑板的圆心处设置有抵靠口，能够对与进料管连接的管道进行限位、扶靠、避免管道晃动、损坏。

技术领域

本实用新型涉及单晶材料生产设备领域，特别是一种具有管路支撑功能的晶体炉。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器等将多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生长出晶棒的设备。晶棒可用于制作无错位单晶材料。

专利CN212688230U揭示了一种单晶炉，其整体为圆柱形结构，其顶面设置有进料口，周向侧壁上设置有出料口。进料口处需要连接管道，管道在重力作用及物料冲击的作用下容易晃动，导致连接不可靠，甚至管道破裂，使得物料泄漏。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种能够固定进料口处的管道、避免管道晃动、损坏的具有管路支撑功能的晶体炉，以解决上述问题。

一种具有管路支撑功能的晶体炉，包括晶体炉本体、突出设置于晶体炉本体的顶盖上的进料管，及设置于晶体炉本体的顶盖上的管路支撑结构；管路支撑结构包括若干与顶盖垂直连接的支撑柱及与支撑柱的顶部连接的支撑板；进料管用于与外部的管道连接；支撑板的形状为半圆形，支撑板的圆心处开设有半圆形的抵靠口，外部的管道与进料管连接后位于抵靠口处并与支撑板抵接。

进一步地，所述抵靠口的半径大于进料管的半径。

进一步地，所述晶体炉本体的顶盖于进料管的一侧且靠近边缘的位置间隔开设有若干安装螺孔，支撑柱的底部外侧设置有外螺纹，支撑柱的底部与安装螺孔螺纹连接。

进一步地，所述支撑柱的外侧壁上设置有操作平面。

进一步地，所述支撑板于抵靠口的两侧分别开设有一安装孔，一箍环套设于管道上，箍环的两端通过紧固件与安装孔连接。

进一步地，还包括一出料管，出料管突出设置于晶体炉本体的一侧。

进一步地，所述出料管的中部开设有出料口，出料管的第一端面上于出料口的外侧设置有第三嵌槽，第三嵌槽中设置有第二密封圈。

进一步地，所述出料管的第一端面上于第三嵌槽的外侧开设有若干连接孔，出料管的周向外侧壁靠近第一端面的位置凹陷设置有螺母槽，一螺柱穿过连接孔后位于螺母槽中，一螺母位于螺母槽中并与螺柱螺纹连接。

进一步地，所述出料管与晶体炉本体之间还设置有L形的加强块，加强块的一侧与出料管焊接，另一侧与晶体炉本体焊接。

与现有技术相比，本实用新型的具有管路支撑功能的晶体炉包括晶体炉本体、突出设置于晶体炉本体的顶盖上的进料管，及设置于晶体炉本体的顶盖上的管路支撑结构；管路支撑结构包括若干与顶盖垂直连接的支撑柱及与支撑柱的顶部连接的支撑板；进料管用于与外部的管道连接；支撑板的形状为半圆形，支撑板的圆心处开设有半圆形的抵靠口，外部的管道与进料管连接后位于抵靠口处并与支撑板抵接。如此在进料管的一侧设置有支撑板，支撑板的圆心处设置有抵靠口，能够对与进料管连接的管道进行限位、扶靠、避免管道晃动、损坏。

附图说明

以下结合附图描述本实用新型的实施例，其中：

图1为本实用新型提供的具有管路支撑功能的晶体炉的立体示意图。

图2为本实用新型提供的具有管路支撑功能的晶体炉的局部示意图。

图3为图2中的A部分的放大示意图。