[实用新型]一种分体式磁场检测装置

权利要求书

1.一种分体式磁场检测装置，其特征在于，包括工件相对位置工装、X/Y向定位工装和Z向定位工装，其中：

所述工件相对位置工装的上端面设有与扫描聚焦线圈相匹配的定位槽和用于固定扫描聚焦线圈组件的挡块，两个挡块之间的间距与固定扫描聚焦线圈组件的宽度相同，所述工件相对位置工装的中心设有供探针穿过的第一孔矩阵；

所述X/Y向定位工装可拆卸固定于所述工件相对位置工装的上端面的中心位置，所述X/Y向定位工装上设有对探针进行定位的第二孔矩阵，所述第二孔矩阵的孔与所述第一孔矩阵的孔一一对应设置；

所述Z向定位工装可拆卸的固定于所述X/Y向定位工装的上端面上，所述Z向定位工装的下端面为Z向定位平面以固定所述探针的Z向位置。

2.如权利要求1所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述工件相对位置工装、X/Y向定位工装和Z向定位工装的材质均为硬铝。

3.如权利要求1所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述定位槽为同轴心设置于所述工件相对位置工装上的圆形槽，所述挡块设有两个，形状为矩形，两个挡块对称设置在所述圆形槽的两侧。

4.如权利要求3所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，每一个挡块的内侧面为精密定位面，两个矩形挡块的精密定位面与扫描聚焦线圈组件接触配合。

5.如权利要求1所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述工件相对位置工装为圆盘形结构，所述圆盘形结构的中心设有圆柱凸起，所述第一孔矩阵的通孔贯穿于所述圆柱凸起上，所述圆柱凸起上设有第一定位螺孔用于固定所述X/Y向定位工装，利用螺钉将X/Y向定位工装固定在工件相对位置工装上。

6.如权利要求1所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述第一孔矩阵的通孔为圆孔。

7.如权利要求1所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述第二孔矩阵的孔为方孔，所述方孔的尺寸与探针的尺寸相同。

8.如权利要求5所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述X/Y向定位工装为圆柱形结构，所述X/Y向定位工装上设有第二定位螺孔，所述第二定位螺孔与所述第一定位螺孔一一对应设置，以固定所述X/Y向定位工装，所述X/Y向定位工装上还设有第一紧固螺孔，所述Z向定位工装通过螺钉紧固于所述第一紧固螺孔内。

9.如权利要求5所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述圆柱凸起上还设有销孔，用于插入定位销，所述定位销可匹配插入第一紧固螺孔的底部实现X/Y向定位工装在工件相对位置工装上的初步定位。

10.如权利要求8所述的分体式磁场检测装置，其特征在于，所述Z向定位工装为圆片形结构，所述圆片形结构上设有第二紧固螺孔，所述第二紧固螺孔与所述第一紧固螺孔相匹配，所述X/Y向定位工装的上端面为定位面，与所述Z向定位工装的定位平面相贴合以固定探针的Z轴位置。