[实用新型]一种阳极层离子源工况下的线材处理装置

说明书

本申请涉及一种真空处理设备，尤其是涉及一种阳极层离子源工况下的线材处理装置，其技术方案要点是：一种阳极层离子源工况下的线材处理装置包括离子源，离子源上开设有环形跑道形状的有效工作区域；还包括两个能够围绕自身轴线定轴转动的线辊，两个线辊分别设置在有效工作区域的长度方向的两端；线材缠绕在两个线辊之间，且线材的位于两线辊之间的至少一个线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合；达到了提高离子源的有效利用率的目的。

技术领域

本申请涉及一种真空处理设备，尤其是涉及一种阳极层离子源工况下的线材处理装置。

背景技术

在镀膜设备中，经常配置阳极层离子源（下文简称：离子源），用于镀膜前对基板的预清洗、优化界面并提高靶材的结合力。

相关技术中记载的一种平板式镀膜设备，参照图1，包括固定在真空腔室1上的离子源2、平行于离子源2设置的载板3以及用于驱动载板3移经离子源2的传输机构，基板固定在载板3上；离子源2上的有效工作区域4为一个跑道形的环状区域，传输机构驱使载板3经过有效工作区域4，进而实现离子源2对载板3上基片的轰击以及刻蚀。

但在最近的市场应用中，出现了对线材6（或带状、条状工件）的镀膜需求，相应的也产生了镀膜前对线材6进行离子源清洗的需求；参照图2，相关技术中的一种对线材6进行离子源清洗的方法为，利用相关技术中的平板式镀膜设备，使单根或多根线材6在传输机构的驱动作用下在平行于离子源2的表面沿垂直于有效工作区域4的长度方向经过有效工作区域4，进而实现对线材6的单面即线材6靠近离子源2的表面进行离子源清洗，若需要对线材6整体进行离子源清洗，则需要在进行单侧清洗后对线材6进行翻面或同时需要两个分别设置在线材6两侧的离子源2。

针对上述相关技术方案，发明人发现：线材经过有效工作区域时，有效工作区域上有线材实际经过的范围比例非常小，有效工作区域上仅有线材经过的部分才能得到离子源的充分利用，大大降低了离子源的有效利用率。

实用新型内容

为了提高离子源的有效利用率，本申请提供一种阳极层离子源工况下的线材处理装置。

本申请提供的一种阳极层离子源工况下的线材处理装置采用如下的技术方案：

一种阳极层离子源工况下的线材处理装置，包括离子源，离子源上开设有环形跑道形状的有效工作区域；还包括两个能够围绕自身轴线定轴转动的线辊，两个线辊分别设置在有效工作区域的长度方向的两端；线材缠绕在两个线辊之间，且线材的位于两线辊之间的至少一个线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合。

通过采用上述技术方案，驱动线辊围绕自身轴线定轴转动时，线材的一端不断从线辊上脱出且线材的后续线段不断进入到有效工作区域中，在此过程中，由于线材的位于两线辊之间的至少一个线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合，进而有效工作区域中的至少一个直线段部分能够得到完全充分的利用，相比于垂直于有效工作区域的长度方向经过有效工作区域，本申请的线材走线方式大大增加了有效工作区域的实际利用范围，进而提高了离子源的有效利用率。

可选的，线材在两个线辊之间往复缠绕并在两个线辊之间形成两条清洗线段，两条清洗线段之间存在过渡线段，至少一个清洗线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合。

通过采用上述技术方案，提供了一种线材在两个线辊之间的绕线方式，线辊转动的过程中，线材的一端不断从线辊上脱出且线材的后续线段不断进入到有效工作区域中，进而实现线材在离子源内部的持续输送。

可选的，两条清洗线段相互平行且两条清洗线段之间的距离等于有效工作区域的宽度，两条清洗线段分别与有效工作区域的两个中相应的直线段部分重合。

通过采用上述技术方案，使得有效工作区域的两个直线段均能够得到线材的充分利用，进一步提高了离子源的有效利用率。

可选的，过渡线段存在有偶数条。