[实用新型]一种激光芯片端面钝化装置有效
申请号: | 202121931713.1 | 申请日: | 2021-08-17 |
公开(公告)号: | CN216080506U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 肖灿琳 | 申请(专利权)人: | 肖灿琳 |
主分类号: | F25D1/02 | 分类号: | F25D1/02;F25D17/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 251500 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 芯片 端面 钝化 装置 | ||
1.一种激光芯片端面钝化装置,包括加工装置(1)和加工台(2),所述加工装置(1)的顶部固定安装有移动机构(11),所述移动机构(11)的侧面固定安装有固定板(12),所述固定板(12)的底部固定安装有加工台(2),所述加工台(2)的顶部固定安装有加工板(21),所述加工板(21)的侧面固定安装有控制面板(22),其特征在于:所述加工板(21)的底部固定安装有散热机构(23),所述加工装置(1)的顶部固定安装有保护机构(13);
所述散热机构(23)包括导热板(231),所述导热板(231)的底部固定安装有循环散热器(232);
所述保护机构(13)包括喷洒室(131),所述喷洒室(131)的顶部固定安装有水管(132),所述水管(132)的底部固定安装有喷嘴(133)。
2.根据权利要求1所述的一种激光芯片端面钝化装置,其特征在于:所述导热板(231)的顶部固定安装有导热块(2311),所述导热块(2311)的底部固定安装有导热垫(2312)。
3.根据权利要求1所述的一种激光芯片端面钝化装置,其特征在于:所述循环散热器(232)的两侧固定安装有安装块(2321),所述安装块(2321)一侧的内部固定安装有水箱(2322),所述水箱(2322)的内部固定安装有水泵(2323)。
4.根据权利要求3所述的一种激光芯片端面钝化装置,其特征在于:所述水泵(2323)的输出端固定连接有循环管(2324),所述循环管(2324)的侧面开设有散热孔(2325)。
5.根据权利要求1所述的一种激光芯片端面钝化装置,其特征在于:所述喷嘴(133)的底部固定安装有旋转机构(134),所述旋转机构(134)的侧面设置有连接轴(135),所述连接轴(135)的底部活动连接在加工装置(1)的顶部。
6.根据权利要求1所述的一种激光芯片端面钝化装置,其特征在于:所述喷洒室(131)的底部活动安装有密封板(1311),所述喷洒室(131)的一侧的底部开设有排水孔,所述排水孔的一端设置有排水管。
7.根据权利要求6所述的一种激光芯片端面钝化装置,其特征在于:所述密封板(1311)的一侧设置有伸缩柱(1312),所述密封板(1311)的另一侧固定安装有卡接块,所述密封板(1311)的顶部固定安装有密封垫(1313)。
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