[实用新型]大负载精密气浮直线平台

说明书

本实用新型公开了大负载精密气浮直线平台，包括：基座，其上相对设有平行的气浮导轨；滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔节流单元的出气孔；直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件滑动。本实用新型具有在多孔节流的气浮块和小孔节流单元均加载气流，可以使得滑台组件侧面和底面与气浮导轨之间形成气膜，从而实现无接触滑动，以及避免气浮块与气浮导轨发生抱死现象的有益效果。

技术领域

本实用新型涉及气浮平台技术领域。更具体地说，本实用新型涉及一种大负载精密气浮直线平台。

背景技术

在精密加工、精密测量及半导体等行业中直线运动平台得到广泛的应用，而随着这些行业的不断发展，对于直线运动平台的运行精度要求也越来越高。气浮平台因其无接触支撑，能够快速运动和精准定位，而得到越来越广泛的应用。但在现有的气浮平台中，气浮支撑多采用小孔节流的方式，气浮导轨和气浮块之间很容易发生抱死现象，同时小孔节流的方式很容易发生气锤自激现象，导致设备出现高频啸叫、失稳，刚性差，定位精度低，以及所承受负载能力差。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题，并提供至少后面将说明的优点。

本实用新型还有一个目的是提供一种大负载精密气浮直线平台，在多孔节流的气浮块和小孔节流单元均加载气流，可以使得滑台组件侧面和底面与气浮导轨之间形成气膜，从而实现无接触滑动，以及避免气浮块与气浮导轨发生抱死现象。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种大负载精密气浮直线平台，包括：

基座，其上相对设有平行的气浮导轨；

滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔节流单元的出气孔；

直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件滑动。

优选的是，所述气浮导轨呈长方体形，所述滑台组件包括顶板和位于所述顶板两侧的侧板，所述顶板底部设有多个凸台，多个凸台底部分别与两个气浮导轨顶部接触，所述凸台上设有所述出气孔，两个侧板的内壁分别与两个气浮导轨的侧壁接触。

优选的是，所述气浮块和所述出气孔均与气源连通。

优选的是，还包括一对预载板，一对预载板相对卡设于所述基座两侧，所述预载板具有铁磁性，两个侧板底部均设有永磁铁，所述永磁铁与所述预载板磁吸引连接。

优选的是，所述滑台组件上设有气管接头，所述滑台组件上对应设有与所述气管接头连通的气流通道，所述气流通道上设有小孔节流单元，所述小孔节流单元与所述出气孔连通，所述气浮块与所述气流通道连通。

优选的是，在两个气浮导轨之间设置有限制滑台组件行程范围的防撞块。

优选的是，所述直线驱动组件为直线电机，所述直线电机的定子和光栅尺均安装于所述基座上，并且位于两个气浮导轨之间，所述直线电机的动子和读数头均安装于所述滑台组件底部。

优选的是，还包括无尘拖链，其设置于其中一个预载板上，所述无尘拖链用于穿设为所述气浮块和出气孔通气的气管，用于穿设为所述直线驱动组件提供电力和信号的线缆。

优选的是，所述滑台组件的其中一侧设有拖链板，所述无尘拖链的一端固定于所述拖链板上，另一端固定于所述预载板上。

优选的是，所述基座的材质为花岗石。

本实用新型至少包括以下有益效果：