[实用新型]大负载精密气浮直线平台

权利要求书

1.大负载精密气浮直线平台，其特征在于，包括：

基座，其上相对设有平行的气浮导轨；

滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔节流单元的出气孔；

直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件滑动。

2.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述气浮导轨呈长方体形，所述滑台组件包括顶板和位于所述顶板两侧的侧板，所述顶板底部设有多个凸台，多个凸台底部分别与两个气浮导轨顶部接触，所述凸台上设有所述出气孔，两个侧板的内壁分别与两个气浮导轨的侧壁接触。

3.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述气浮块和所述出气孔均与气源连通。

4.如权利要求2或3所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，还包括一对预载板，一对预载板相对卡设于所述基座两侧，所述预载板具有铁磁性，两个侧板底部均设有永磁铁，所述永磁铁与所述预载板磁吸引连接。

5.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述滑台组件上设有气管接头，所述滑台组件上对应设有与所述气管接头连通的气流通道，所述气流通道上设有小孔节流单元，所述小孔节流单元与所述出气孔连通，所述气浮块与所述气流通道连通。

6.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，在两个气浮导轨之间设置有限制滑台组件行程范围的防撞块。

7.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述直线驱动组件为直线电机，所述直线电机的定子和光栅尺均安装于所述基座上，并且位于两个气浮导轨之间，所述直线电机的动子和读数头均安装于所述滑台组件底部。

8.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，还包括无尘拖链，其设置于其中一个预载板上，所述无尘拖链用于穿设为所述气浮块和出气孔通气的气管，用于穿设为所述直线驱动组件提供电力和信号的线缆。

9.如权利要求8所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述滑台组件的其中一侧设有拖链板，所述无尘拖链的一端固定于所述拖链板上，另一端固定于所述预载板上。

10.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述基座的材质为花岗石。