[实用新型]一种镀膜材料依附均匀的镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202121867134.5 申请日: 2021-08-10
公开(公告)号: CN215365958U 公开(公告)日: 2021-12-31
发明(设计)人: 龙何军 申请(专利权)人: 中山众旺光学有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50;G02B1/10
代理公司: 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 代理人: 杨连华
地址: 528400 广东省中山市火*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 材料 依附 均匀 装置
【说明书】:

实用新型公开一种镀膜材料依附均匀的镀膜装置,包括镀膜箱,所述镀膜箱内设置有蒸发装置,所述蒸发装置上方设置有和所述镀膜箱固定连接有球体固定套,所述球体固定套内转动设置有转动球,转动球,所述转动球为中空设置,且中空位置将所述转动球分为上球壳和下球壳,所述上球壳和下球壳之间连接有多条固定杆连接,所述上球壳上设置有镜片固定架组,所述下球壳转动设置于所述球体固定套内,通过本实用新型的结构设置,具备以下的优点,能实现360°空间方向摆动,使整体的镜片固定架中的镜片镀膜过程更加均匀,整体镜片加工效果更加一致,提高加工质量。

技术领域

本实用新型涉及镜片镀膜装置,特别涉及一种镀膜材料依附均匀的镀膜装置。

背景技术

真空镀膜机,主要是在真空环境下,通过真空离子蒸发的手段来将靶材表面组分以原子团或是离子的形式蒸发出来,随后通过技术手段将其沉降在镜片表面,从而通过成膜过程来形成薄膜,但是由于现有镜片固定装置中安装有多个镜片,多个镜片距离蒸发源的距离及蒸发时间并不相同,导致镀膜效果不一致。

故此,现有的镜片镀膜装置需要进一步改善。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了提供一种镀膜材料依附均匀的镀膜装置,能一种镀膜材料依附均匀的镀膜装置。

为了达到上述目的,本实用新型采用以下方案:

一种镀膜材料依附均匀的镀膜装置,包括镀膜箱,所述镀膜箱内设置有蒸发装置,所述蒸发装置上方设置有和所述镀膜箱固定连接有球体固定套,所述球体固定套内转动设置有转动球;

转动球,所述转动球为中空设置,且中空位置将所述转动球分为上球壳和下球壳,所述上球壳和下球壳之间连接有多条固定杆连接,所述上球壳上设置有镜片固定架组,所述下球壳转动设置于所述球体固定套内;

所述转动球下表面设置有环形顶压槽,所述镀膜箱内设置有旋转组件,所述旋转组件上偏心设置有顶压杆,所述顶压杆顶压于所述环形顶压槽一侧表面。

进一步地,所述镀膜箱包括外箱体,所述外箱体上设置有抽真空装置。

进一步地,所述球体固定套包括设置于所述蒸发装置下方的固定底板,所述固定底板上方设置有球体套,所述球体套内部为球面设置,所述球体套和所述固定底板之间设置有固定连接杆。

进一步地,所述镜片固定架组由多个镜片固定槽组成,多个所述镜片固定槽均布于所述上球壳内壁。

进一步地,所述旋转组件包括设置于所述固定底板上的齿轮座,齿轮座上转动设置有中空齿轮,所述固定底板一侧设置有旋转电机,所述旋转电机的输出单设置有主动齿轮,所述主动齿轮和所述中空齿轮啮合传动。

进一步地,所述顶压杆偏心设置于所述中空齿轮一侧表面。

进一步地,所述环形顶压槽为弧形设置,所述顶压杆上端为能和所述环形顶压槽相配合的球状设置。

综上所述,本实用新型相对于现有技术其有益效果是:

本实用新型解决了现有镜片镀膜设备中存在的问题,通过本实用新型的结构设置,具备以下的优点,能实现360°空间方向摆动,使整体的镜片固定架中的镜片镀膜过程更加均匀,整体镜片加工效果更加一致,提高加工质量,且结构简单,使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的主视图;

图2为本实用新型的结构示意图;

图3为本实用新型的内部结构示意图。

具体实施方式

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