[实用新型]一种靶材孔位检具

说明书

本实用新型提供了一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具包括检具主体和检具插销；所述检具主体的边缘设置有限位环和检测钉；所述检测钉的数量和排布与靶材标准孔位的数量和排布相适应；所述检具插销包括插销柄和分别设置于所述插销柄两端的第一插销头与第二插销头；所述第一插销头的直径小于靶材标准孔径；所述第二插销头的直径大于靶材标准孔径。本实用新型提供的靶材孔位检具提升了检测效率，降低了出错率，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测。

技术领域

本实用新型属于溅射靶材技术领域，涉及一种靶材检具，尤其涉及一种靶材孔位检具。

背景技术

芯片是电子设备中必不可少的重要组成部件，而芯片的制造离不开溅射靶材。在芯片的制造过程中，需要将靶材固定于溅射机台上进行磁控溅射操作，为了确保溅射的稳定性和安全性，用于固定靶材的孔位尺寸就显得尤为重要。若是孔位角度及孔径与溅射机台不相匹配，则会导致靶材无法稳定地安装在机台上。因此，有必要对溅射靶材的孔位尺寸进行检测。

目前，技术人员普遍采用三坐标测量机对靶材的孔位尺寸进行检测，以检测各个孔位的角度是否符合规定。但是，这种方法存在检测效率低、出错率高的问题。

由此可见，如何提供一种靶材孔位检具，提升检测效率，降低出错率，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具提升了检测效率，降低了出错率，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具包括检具主体和检具插销。

所述检具主体的边缘设置有限位环和检测钉。

所述检测钉的数量和排布与靶材标准孔位的数量和排布相适应。

所述检具插销包括插销柄和分别设置于所述插销柄两端的第一插销头与第二插销头。

所述第一插销头的直径小于靶材标准孔径。

所述第二插销头的直径大于靶材标准孔径。

本实用新型提供的靶材孔位检具在检测过程中，将靶材与检具主体相贴合。所述限位环起到了限定靶材位置的作用；所述检测钉插入靶材的下沉孔中，用以检测靶材的孔位角度及孔径是否符合靶材标准沉孔的要求；所述检具插销的两个插销头用以检测靶材的上沉孔尺寸，若第一插销头能够插入靶材的上沉孔，且第二插销头无法插入，则说明上沉孔的尺寸符合标准沉孔的要求，否则不符合要求。采用本实用新型提供的检具检测靶材孔位，提升了检测效率，降低了出错率，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测。

优选地，所述限位环上还开设有至少1个观察槽，例如可以是1个、2个、3个或4个，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述观察槽的深度与限位环的高度之比为(1-2):1，例如可以是1:1、1.1:1、1.2:1、1.3:1、1.4:1、1.5:1、1.6:1、1.7:1、1.8:1、1.9:1或2:1，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本实用新型中，所述观察槽用以观察靶材与检具主体的贴合程度，防止靶材与检具主体之间存在较大空隙。为了便于观察两者的贴合面，需要保证观察槽的深度不小于限位环的高度，否则限位环阻挡了观察视线。

优选地，所述限位环的高度为6-10mm，例如可以是6mm、6.5mm、7mm、7.5mm、8mm、8.5mm、9mm、9.5mm或10mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。