[实用新型]双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备

权利要求书

1.一种无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，包括：

第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件；

所述第一光棒设于所述第一光源的光线传输路径上，所述第一光棒用于将第一光源发出的光线发生多次全反射形成均匀照明光束；

所述第二光棒设于所述第二光源的光线传输路径上，所述第二光棒朝向所述第二光源的端面面积小于所述第二光棒背离所述第二光源的端面面积，所述第二光棒用于减少第二光源光束数值孔径并形成均匀照明光束；

所述第一透镜组设于所述第一光源的光线传输路径上且设于所述第一光棒远离所述第一光源的一侧；

所述第二透镜组设于所述第二光源的光线传输路径上且设于所述第二光棒远离所述第二光源的一侧，所述第一透镜组的光轴与所述第二透镜组的光轴垂直；

所述耦合透镜耦合所述第一光源发出的光线和所述第二光源发出的光线至第三透镜组上；

所述第三透镜组设于所述耦合透镜的光线传输路径上，且所述第三透镜组适用于传递由所述第一光源和所述第二光源经耦合透镜耦合过的光线；

所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组适用于将光束整形得到较小发散角的出射光以汇聚到所述数字微镜器件上，所述数字微镜器件设于所述第三透镜组的一侧，且所述数字微镜器件设于所述第三透镜组背离所述耦合透镜的一侧；

其中，所述第二透镜组与所述耦合透镜之间设有光阑，所述光阑适用于调整所述第二光源发出光线的数值孔径，从而调节所述第一光源与所述第二光源的输出光束的比例。

2.根据权利要求1所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，第一透镜组包括多个透镜镜片且至少包含第一透镜镜片和第二透镜镜片，所述第一透镜镜片和第二透镜镜片沿所述第一光源的光轴方向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，所述第一透镜镜片为平凸透镜，所述第二透镜镜片为双凸透镜。

4.根据权利要求1所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，第一透镜组包括多个透镜镜片且至少包含第一透镜镜片、第二透镜镜片、第三透镜镜片，所述第一透镜镜片、第二透镜镜片、第三透镜镜片沿所述第一光源的光轴方向间隔设置。

5.根据权利要求4所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，所述第一透镜镜片为平凸透镜，所述第二透镜镜片为弯月正透镜，所述第三透镜镜片为平凸透镜。

6.根据权利要求5所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，所述第二透镜组包括多个透镜镜片且至少包括第四透镜镜片、第五透镜镜片和第六透镜镜片，所述第二透镜组的镜片与所述第一透镜组镜片曲率半径、厚度、材料均相同。

7.根据权利要求1所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，所述第三透镜组包括多个透镜镜片且至少包括第七透镜镜片、第八透镜镜片和第九透镜镜片，所述第七透镜镜片、所述第八透镜镜片和所述第九透镜镜片沿光轴传输路径依次设置。

8.根据权利要求7所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，所述第七透镜镜片为弯月正透镜，所述第八透镜镜片为弯月正透镜，所述第九透镜镜片为平凸透镜。

9.根据权利要求1所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统，其特征在于，还包括第一保护玻璃和第二保护玻璃，所述第一保护玻璃位于所述第一光棒与第一透镜组之间，所述第二保护玻璃位于所述第二光棒与所述第二透镜组之间，所述第一保护玻璃与所述第二保护玻璃的材质与尺寸均相同。

10.一种无掩模直写光刻设备，所述无掩模直写光刻设备适用于集成电路的生产制造，其特征在于，包括：如权利要求1-9中任一项所述的无掩模直写光刻设备的双波段照明系统。