[实用新型]一种硅片分选仪用多工位上料装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片分选仪用多工位上料装置，涉及硅片分选设备领域，包括上料架、与送料机构对接的水平输送机构，上料架上设有若干个平行布置的水平输送机构及推动组件，各水平输送机构由推动组件驱动可移动，上料架底部设有驱动上料架水平移动的二号驱动组件；每个水平输送机构的进料端均转动设有可垂直、水平转换放置的插片盒；插片盒垂直放置时，最底部的硅片与插片盒下面的端板间留有供水平输送机构伸入或退出的间隔区。本实用新型中一条水平输送机构上料时，另外的水平输送机构已经伸入插片盒内完成备料，再推动上料架移动，可以无缝切换到备完料的水平输送机构，节省了水平输送机构伸缩的时间，进料效率提升。

技术领域

本实用新型涉及硅片分选设备领域，尤其涉及一种硅片分选仪用多工位上料装置。

背景技术

硅片品质分选设备是集上料、测试以及分选于一体的用于检测硅片外观、电阻率、隐裂、少子寿命以及黑心等参数的设备。厂家将硅锭切割成硅片后进行清洗，清洗完成的硅片需要进行装片，装片后烘干送入硅片分选设备检测分类，有隐裂、崩边以及缺角等的硅片需要重新铸锭；其余的硅片会根据电阻率、厚度、尺寸、少子寿命、位错、黑边以及黑心等一系列测试参数分成不同等级。现有的硅片分选设备在装片烘干后，通过上料装置上料，现有的上料装置是由一条传送带，传送带一侧的多条竖直导轨、导轨上的支架以及支架上的插片盒组成。当一个插片盒送料完成后，传送带需要从该插片盒抽出后，才能对接下一个备完料的插片盒，传送带插入背完料的插片盒，才能开始进行送料，在传送带伸缩时间段无法进行送料。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种硅片分选仪用多工位上料装置。

本实用新型的创新点在于一条水平输送机构上料时，另外的水平输送机构已经伸入插片盒内完成备料，再推动上料架移动，可以无缝切换到备完料的水平输送机构，节省了水平输送机构伸缩的时间，进料效率提升。

为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：一种硅片分选仪用多工位上料装置，包括上料架、与送料机构对接的水平输送机构，上料架上设有若干个平行布置的水平输送机构及推动组件，各水平输送机构由推动组件驱动可移动，上料架底部设有驱动上料架水平移动的二号驱动组件，上料架水平移动方向与水平输送机构移动方向垂直；每个水平输送机构的进料端均转动设有可垂直、水平转换放置的插片盒；插片盒包括两方形的端板，两端板之间设有与两端板四角固定连接的连杆，连杆上设有用于插设硅片的槽口，若干硅片间隔并平行于端板插于槽口中，插片盒垂直放置时，最底部的硅片与插片盒下面的端板间留有供水平输送机构伸入或退出的间隔区。当一条水平输送机构对接送料机构上料时，其它各条水平输送机构相对的插片盒置成水平安放，然后在插片盒中插入硅片，插满硅片后将插片盒垂直放置，推动组件驱动水平输送机构伸入插片盒底部的间隔区内完成备料，某条水平输送机构完成上料后，二号推动组件推动上料架移动，将完成备料的水平输送机构对接送料机构，实现无缝切换，节省了单条水平输送机构伸缩的时间，进料效率提升，推动组件驱动上完料的水平输送机构退出插片盒底部的间隔区，插入盒转动水平放置，循环进行下轮插片备料。

进一步地，插片盒固定放置于支架上，支架可沿固定在上料架一侧的竖直导轨上下移动，竖直导轨与水平输送机构一一对应，竖直导轨内设有驱动支架上下移动的一号驱动组件。插片盒水平放置时，通过支架的上下升降，调节插片盒与机械手之间的操作距离，方便机械完成插片动作；插片盒垂直放置时，通过支架的上下移动，使插片盒底部间隔区对准水平输送机构，便于水平输送机构伸入。

进一步地，支架由滑动块和放置板组成，插片盒垂直放置时，放置板置于远离水平输送机构的插片盒一侧，滑动块一端活动连接在竖直导轨上，另一端铰连放置板，滑动块上设有驱动放置板转动的转动组件。转动组件可以带动放置板转动，放置板可以从竖直方向逆时针转至水平方向，也可以从水平方向顺时针转至竖直方向。

进一步地，紧贴插片盒一侧的放置板端面上设有若干限位块，所述限位块构成矩形的四个角，插片盒刚好放入限位块构成的矩形内。通过增加限位块将插片盒放置在放置板的固定位置，便于后续对插片盒夹紧固定的定位。