[实用新型]一种石英坩埚模具结构有效

专利信息
申请号: 202121719034.8 申请日: 2021-07-27
公开(公告)号: CN215440190U 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 陶飞;王洋洋;毛炳全;方志远 申请(专利权)人: 浙江美晶新材料有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00
代理公司: 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 代理人: 朱甲子
地址: 312000 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 坩埚 模具 结构
【说明书】:

本实用新型公开了一种石英坩埚模具结构,其包括模具本体,模具本体的上表面中心处开设有型腔,模具本体的下表面固定连接有支撑块,模具本体的内部固定安装有循环冷却装置,且循环冷却装置包括第一冷却腔和第二冷却腔,第一冷却腔和第二冷却腔均开设在模具本体的内部。本申请具有通过设置模具本体的内部固定安装有循环冷却装置,且循环冷却装置包括第一冷却腔和第二冷却腔,第一冷却腔和第二冷却腔均开设在模具本体的内部,达到了较现有技术相比,本实用的循环冷却装置是对型腔内制备的石英坩埚四周外表面和下端圆弧表面进行循环均匀散热,具有散热快、散热效率高的特点,从而保证了后续制备石英坩埚制备质量的效果。

技术领域

本申请涉及石英坩埚的领域,尤其是涉及一种石英坩埚模具结构。

背景技术

石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。

针对上述中的相关技术,发明人认为如中国专利文献公开的一种石英坩埚模具(申请号:CN209555051U),该现有技术虽然解决了“可快速对制备的石英坩埚进行成型操作,减少冷却的时间,保证不会因为融化的石英坩埚制备材料的流动而导致制备形成的石英坩埚表面出现坑洼现象,有效提升了石英坩埚的制备质量”,但是,现有技术在通过采用水冷循环散热的方式对制备形成的32寸石英坩埚散热时,不仅散热效率慢,而且在现有技术中并未对经散热后自身带有热量的冷却液进行散热,若不及时对其进行散热,很容易影响后续冷却液对制备形成的石英坩埚的散热效果,此外,在现有技术中可以看出,其散热部位主要为石英坩埚下端的圆弧部分,并未对石英坩埚整体进行散热,进而容易对石英坩埚的制备质量造成影响。

实用新型内容

为了解决现有技术在通过采用水冷循环散热的方式对制备形成的32 寸石英坩埚散热时,不仅散热效率慢,而且在现有技术中并未对经散热后自身带有热量的冷却液进行散热,若不及时对其进行散热,很容易影响后续冷却液对制备形成的石英坩埚的散热效果,此外,在现有技术中可以看出,其散热部位主要为石英坩埚下端的圆弧部分,并未对石英坩埚整体进行散热,进而容易对石英坩埚的制备质量造成影响的的技术问题,本申请提供一种石英坩埚模具结构。

本申请提供一种石英坩埚模具结构,采用如下的技术方案:

一种石英坩埚模具结构,包括模具本体,所述模具本体的上表面中心处开设有型腔,所述模具本体的下表面固定连接有支撑块,所述模具本体的内部固定安装有循环冷却装置,且循环冷却装置包括第一冷却腔和第二冷却腔,所述第一冷却腔和第二冷却腔均开设在模具本体的内部,所述第一冷却腔位于第二冷却腔的上方,所述第一冷却腔的内底壁与第二冷却腔的内顶壁固定连通。

通过采用上述技术方案,设置循环冷却装置对位于型腔内制备的石英坩埚进行全面均匀散热。

可选的,所述第一冷却腔在模具本体的内部呈螺旋形状分布,所述第二冷却腔的内壁呈半圆形状,所述模具本体的左侧表面和右侧表面分别固定安装有安装箱和中转箱。

通过采用上述技术方案,模具本体对安装箱和中转箱起到固定的效果。

可选的,所述中转箱的材质为铝材料制成,所述中转箱的左侧内壁开设有输油孔,所述输油孔的一端内壁与第二冷却腔的内壁外侧固定连通,所述中转箱的内底壁固定连通有第一连接管,所述支撑块的内部设置有腔体。

通过采用上述技术方案,中转箱由铝材料制成,使其在对冷却介质进行短暂储存过程中,也能对储存的冷却介质进行散热的效果。

可选的,所述第一连接管的一端内壁贯通并延伸至腔体的内部,所述第一连接管的一端内壁固定连通有电磁阀,所述电磁阀的内壁固定连接有第二连接管,所述中转箱的内顶壁中心处固定安装有温度传感器,所述温度传感器与电磁阀电性连接。

通过采用上述技术方案,设置温度传感器对中转箱内冷却介质所散发的热量温度进行检测的效果。

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