[实用新型]一种石英坩埚模具结构

权利要求书

1.一种石英坩埚模具结构，包括模具本体(1)，其特征在于：所述模具本体(1)的上表面中心处开设有型腔(2)，所述模具本体(1)的下表面固定连接有支撑块(3)，所述模具本体(1)的内部固定安装有循环冷却装置，且循环冷却装置包括第一冷却腔(4)和第二冷却腔(5)，所述第一冷却腔(4)和第二冷却腔(5)均开设在模具本体(1)的内部，所述第一冷却腔(4)位于第二冷却腔(5)的上方，所述第一冷却腔(4)的内底壁与第二冷却腔(5)的内顶壁固定连通。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚模具结构，其特征在于：所述第一冷却腔(4)在模具本体(1)的内部呈螺旋形状分布，所述第二冷却腔(5)的内壁呈半圆形状，所述模具本体(1)的左侧表面和右侧表面分别固定安装有安装箱(41)和中转箱(42)。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚模具结构，其特征在于：所述中转箱(42)的材质为铝材料制成，所述中转箱(42)的左侧内壁开设有输油孔(43)，所述输油孔(43)的一端内壁与第二冷却腔(5)的内壁外侧固定连通，所述中转箱(42)的内底壁固定连通有第一连接管(44)，所述支撑块(3)的内部设置有腔体(45)。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚模具结构，其特征在于：所述第一连接管(44)的一端内壁贯通并延伸至腔体(45)的内部，所述第一连接管(44)的一端内壁固定连通有电磁阀(46)，所述电磁阀(46)的内壁固定连接有第二连接管(47)，所述中转箱(42)的内顶壁中心处固定安装有温度传感器(48)，所述温度传感器(48)与电磁阀(46)电性连接。

5.根据权利要求3所述的一种石英坩埚模具结构，其特征在于：所述安装箱(41)的内底壁固定安装有油泵(49)，所述安装箱(41)的内顶壁固定安装有定时开关(410)，所述油泵(49)与定时开关(410)电性连接，所述油泵(49)的进油口固定连通有吸油管(411)，所述吸油管(411)的一端内壁贯通安装箱(41)内底壁后延伸至腔体(45)的内底壁，所述油泵(49)的出油口固定连通有出油管(412)。

6.根据权利要求5所述的一种石英坩埚模具结构，其特征在于：所述出油管(412)的一端内壁贯通并延伸至第一冷却腔(4)的内壁，所述腔体(45)的内部设置有变压器油或导热油，所述支撑块(3)的下表面固定连接有水箱(413)。

7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚模具结构，其特征在于：所述水箱(413)的内部设置有冷却水。