[实用新型]一种基于双线阵列的线形微波等离子装置

说明书

本实用新型公开了一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，涉及等离子体源技术领域，包括FR4板机构，FR4板机构的一端固定安装有进气点；FR4板机构包括上FR4板和设置在上FR4板下端的下FR4板，且上FR4板和下FR4板的连接处设置有垫片机构，驱动机构设置在下FR4板的下端，卡口的内部固定安装有同轴线内导体，同轴线内导体与下铜带电连接，且下端固定安装有同轴连接器，同轴连接器通过同轴线内导体连接上铜带和下铜带，给装置馈电，将装置同轴线内导体与微波源连接，再将气体由进气口注入，打开微波源开关，微波能量在聚集在进气口缝隙处，此处电场强度将达到最高，调节微波源的输出功率，当其到达某一值时，缝隙处的电场强度击穿附近的气体，产生等离子体。

技术领域

本实用新型涉及等离子体源技术领域，具体为一种基于双线阵列的线形微波等离子装置。

背景技术

低温等离子体源在灭菌、材料加工制造、伤口愈合、新光源等领域有广泛的应用。微波诱导大气压等离子体源(M-APP)具有能量效率高、电离度高、粒子活性高、寿命长、易于控制等优点。因此微波等离子体源具有广阔的应用前景。介质阻挡放电因其避免了放电极的直接接触，使电子不能达到电极，保护电子被湮灭，从而提高等离子体放电均匀性，而被广泛应用在等离子装置设计中。

目前大部分DBD装置基于直流、低频和射频激发，而直流、低频和射频激发的等离子电离度低，且现有的等离子装置在使用时两组垫片的间隙通常为固定状态，不可调节，具有局限性，使用效果不好。

针对上述问题，本实用新型提出了一种基于双线阵列的线形微波等离子装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，卡口的内部固定安装有同轴线内导体，同轴线内导体与下铜带电连接，且下端固定安装有同轴连接器，通过同轴连接器用于连接上铜带和下铜带，使得上铜带和下铜带表面带有电荷，将装置同轴线内导体与微波源连接，再将气体由进气口注入，打开微波源开关，微波能量在聚集在装置缝隙处，此处电场强度将达到最高，调节微波源的输出功率，当其到达某一值时，缝隙处的电场强度击穿附近的气体，产生等离子体，从而解决了背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，包括FR4板机构，其特征在于：所述FR4板机构的一端固定安装有进气点；

所述FR4板机构包括上FR4板和设置在上FR4板下端的下FR4板，且上FR4板和下FR4板的连接处设置有垫片机构，垫片机构的两侧安装有驱动机构，驱动机构设置在下FR4板的下端。

优选的，所述下FR4板的上表面开设有下铜带，下FR4板的上表面设置有贯穿孔，贯穿孔与上FR4板对接，下FR4板的一侧设置有卡口。

优选的，所述卡口的内部固定安装有同轴线内导体，同轴线内导体与下铜带电连接，且下端固定安装有同轴连接器。

优选的，所述下铜带远离同轴线内导体的一端设置有石英片。

优选的，所述垫片机构包括设置在上FR4板和下FR4板之间的垫片本体和固定安装在垫片本体两侧的磁性插块，垫片本体设置在上FR4板和下FR4板的边缘处。

优选的，所述上FR4板的下端开设有与下铜带相匹配的上铜带。

优选的，所述进气点安装在上FR4板和下FR4板的一端，两组进气点之间设置有进气口，进气点设置有两组，且两组进气点之间的距离为34mm，进气点的长宽为15mm*8mm。

优选的，所述驱动机构包括设置在下FR4板下端的横板和固定安装在横板上端的竖板，竖板的上端固定安装有电磁块，电磁块的内部开设有孔洞，且内部安装有弹性件，磁性插块与孔洞相匹配，且通过弹性件与孔洞内壁固定连接。