[实用新型]一种基于双线阵列的线形微波等离子装置

权利要求书

1.一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，包括FR4板机构(1)，其特征在于：所述FR4板机构(1)的一端固定安装有进气点(2)；

所述FR4板机构(1)包括上FR4板(11)和设置在上FR4板(11)下端的下FR4板(12)，且上FR4板(11)和下FR4板(12)的连接处设置有垫片机构(3)，垫片机构(3)的两侧安装有驱动机构(4)，驱动机构(4)设置在下FR4板(12)的下端。

2.根据权利要求1所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：所述下FR4板(12)的上表面开设有下铜带(121)，下FR4板(12)的上表面设置有贯穿孔(122)，贯穿孔(122)与上FR4板(11)对接，下FR4板(12)的一侧设置有卡口(123)。

3.根据权利要求2所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：所述卡口(123)的内部固定安装有同轴线内导体(124)，同轴线内导体(124)与下铜带(121)电连接，且下端固定安装有同轴连接器(125)。

4.根据权利要求3所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：所述下铜带(121)远离同轴线内导体(124)的一端设置有石英片(5)。

5.根据权利要求1所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：所述垫片机构(3)包括设置在上FR4板(11)和下FR4板(12)之间的垫片本体(31)和固定安装在垫片本体(31)两侧的磁性插块(32)，垫片本体(31)设置在上FR4板(11)和下FR4板(12)的边缘处。

6.根据权利要求4所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：所述上FR4板(11)的下端开设有与下铜带(121)相匹配的上铜带(111)。

7.根据权利要求1所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：所述进气点(2)安装在上FR4板(11)和下FR4板(12)的一端，两组进气点(2)之间设置有进气口(21)，进气点(2)设置有两组，且两组进气点(2)之间的距离为34mm，进气点(2)的长宽为15mm*8mm。

8.根据权利要求5所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：所述驱动机构(4)包括设置在下FR4板(12)下端的横板(41)和固定安装在横板(41)上端的竖板(42)，竖板(42)的上端固定安装有电磁块(43)，电磁块(43)的内部开设有孔洞(44)，且内部安装有弹性件(45)，磁性插块(32)与孔洞(44)相匹配，且通过弹性件(45)与孔洞(44)内壁固定连接。

9.根据权利要求4所述的一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，其特征在于：下铜带(121)为Y形的双线阵列结构，开口处的宽度为34mm，且开口处内壁的长度为38mm，开口处外壁的长度为43mm，竖直处为55mm*8mm的构件。