[实用新型]悬浮式压电超音波感测器有效
| 申请号： | 202121659382.0 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN215217631U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 邱奕翔 | 申请（专利权）人： | 茂丞科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48;G01D11/00 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王丹丹;包莉莉 |
| 地址： | 518042 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬浮 压电 超音波 感测器 | ||
1.一种悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，包含：
半导体基板，包含柱状设置区、周缘壁、以及至少一个桥接部，所述柱状设置区与所述周缘壁之间为空腔，所述空腔围绕所述柱状设置区，所述桥接部连接所述柱状设置区及所述周缘壁；以及
压电超音波感测元件，设置于所述柱状设置区上。
2.如权利要求1所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述半导体基板还包含至少一个贯孔，所述贯孔贯穿所述半导体基板，且与所述空腔连通。
3.如权利要求2所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述贯孔邻近于所述柱状设置区。
4.如权利要求2所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述半导体基板包含多个贯孔，多个所述贯孔贯穿所述半导体基板、分布于所述柱状设置区的周围，且多个所述贯孔与所述空腔连通。
5.如权利要求1所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述半导体基板包含多个桥接部，各所述桥接部分别连接于所述柱状设置区及所述周缘壁。
6.如权利要求5所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，多个所述桥接部对称地位于所述柱状设置区的周围。
7.如权利要求1所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述压电超音波感测元件的宽度小于所述柱状设置区。
8.如权利要求1所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述半导体基板的厚度为200μm至700μm。
9.如权利要求1所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述桥接部的长度小于1000μm。
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