[实用新型]一种硬脆性材料绕工件自回转切割加工装置

说明书

本实用新型涉及硬脆性材料线切割设备领域，旨在提供一种硬脆性材料绕工件自回转切割加工装置。该装置包括：第一机构，用于固定工件，并使得工件发生回转；第二机构，位于所述第一机构的一侧，用于切割工件；以及第三机构，作用于所述第一机构上，所述第三机构用于带动所述第一机构向所述第二机构运动，并使得所述第一机构上的工件在回转过程中被所述第二机构切割。本实用新型能避免切片初始隐裂开裂等缺陷，提高加工精度；适合大批量应用与硬脆性材料领域的切断或切片，具有极大的产业应用性。

技术领域

本实用新型涉及一种硬脆性材料线切割设备领域，特别涉及硅、碳化硅、蓝宝石、玻璃、陶瓷等硬脆性材料相关的回转切断或切片装置。

背景技术

线切割技术是比较先进的加工技术，其原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割磨料对硅、碳化硅等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过几个导线轮的引导，在双主轴或多主轴上形成切割线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，可将硅、碳化硅等硬脆材料一次同时切割成数百片或单片或段切割，线切割技术与其他技术相比有效率高，精度高等优点。目前，线切割技术已逐渐取代了传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割，成为目前采用广泛的硅、碳化硅等硬脆材料切割技术。

其中一种传统线锯技术，使用线锯切割工件切割，将工件垂直压在切割线或线垂直压在工件上进行切断。在该线锯中工件为了切割良好，工件和切割线之间的接触部分需充分供应切割磨料，并保持切割能力，该种切割方式无法充分接触磨料。如采用金刚石颗粒线进行切割，因切割阻力大金刚石颗粒磨损损耗严重，造成切割中出现断线等问题。

另一种传统线锯技术，使用线锯切割工件切割，将工件垂直压在切割线或线垂直压在工件上，同时摇摆工件进行切断。在该线锯中工件为了切割良好，向工件和切割线之间的接触部分供应切割磨料，并保持切割能力。采用该种摇摆切割方式，切割工件与切割线之间存在相对移动，对切割线损耗、产品精度稳定不利。

以线锯针对圆柱形工件切割工件时，工件与切割线的接触部分长度取决于工件的切割位置。考虑到，工件刚开始切割部分，因为圆柱体工件与切割线的接触长度较短。但随着中心邻域的切割，接触长度增加，内部也没有充分的切割液供应。此外，通过增加接触长度，即切割阻力也会增加，会造成晶圆的翘曲和厚度变化会不同，导致不良。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种硬脆性材料绕工件自回转切割加工装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种硬脆性材料绕工件自回转切割加工装置，包括：第一机构，所述第一机构用于固定工件，并使得工件发生回转；第二机构，所述第二机构位于所述第一机构的一侧，用于切割工件；以及第三机构，所述第三机构作用于所述第一机构上，所述第三机构用于带动所述第一机构向所述第二机构运动，并使得所述第一机构上的工件在回转过程中被所述第二机构切割。

作为一种改进方案，所述第一机构位于所述第二机构上方，所述第一机构在所述第三机构作用下，所述第一机构沿重力方向作用到所述第二机构上，使得工件被切割。

作为一种改进方案，所述第一机构包括：基座；固定装置，所述固定装置用于固定工件；回转装置，所述回转装置分别连接于所述基座与所述固定装置，并通过所述回转装置带动工件回转。

作为一种改进方案，所述回转装置包括：移动件，所述移动件与所述基座滑移连接，并与所述固定装置连接；驱动装置，所述驱动装置固定于所述基座上，所述驱动装置连接并作用在所述移动件上，使得所述移动件发生滑移或转动。

作为一种改进方案，所述基座包括固定板，所述固定板上设置有限位块，所述限位块与所述移动件滑移连接。

作为一种改进方案，所述移动件具体为导轨，所述导轨呈圆弧状。