[实用新型]一种阶梯型结构FBAR滤波器及滤波器组件

说明书

本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种阶梯型结构FBAR滤波器及滤波器组件，包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一薄膜体声波谐振器至第六薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第七薄膜体声波谐振器、第八薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器，第七薄膜体声波谐振器、第八薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器的一端分别连接在多个串联的薄膜体声波谐振器中相隔两个的薄膜体声波谐振器之间的节点上，另一端分别连接接地端子，上述滤波器可允许特定频率的信号通过。

技术领域

本实用新型属于滤波器技术领域，更具体地说，是涉及一种阶梯型结构FBAR滤波器及滤波器组件。

背景技术

近年来，随着5G无线通信技术的不断发展，通过利用更高频段以及频段重组来实现移动通信，这对相关射频元器件的微型化、高频带宽化、集成化及柔性化提出了越来越高的要求。

薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR)滤波器凭借其尺寸小、谐振频率高、品质因数高、功率容量大、滚降效应好等优良特性，正逐步取代传统的声表面波滤波器和陶瓷滤波器，在射频滤波器领域占有越来越大的市场份额，在5G无线通信射频领域发挥着巨大作用。

然而目前对阶梯型结构FBAR滤波器的研究大多集中在制备方法上，对阶梯型结构FBAR滤波器的具体结构的研究较少。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种阶梯型结构FBAR滤波器及滤波器组件，旨在提供一种阶梯型结构FBAR滤波器的新型结构。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种中心频率为4070MHz的阶梯型结构FBAR滤波器，包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；

所述多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器和第六薄膜体声波谐振器，串联连接在所述输入端子和输出端子之间；

所述多个并联的薄膜体声波谐振器包括第七薄膜体声波谐振器、第八薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器，所述第七薄膜体声波谐振器的一端分别连接在所述第一薄膜体声波谐振器与所述第二薄膜体声波谐振器之间的节点上、所述第八薄膜体声波谐振器的一端分别连接在所述第三薄膜体声波谐振器与所述第四薄膜体声波谐振器之间的节点上、所述第九薄膜体声波谐振器的一端分别连接在所述第五薄膜体声波谐振器与所述第六薄膜体声波谐振器之间的节点上；所述第七薄膜体声波谐振器、第八薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子；

所述第一薄膜体声波谐振器至所述第六薄膜体声波谐振器中相邻任意三个薄膜体声波谐振器的中心连线均构成V字型，且按顺次的第一个、第二个和第四个V字型的开口朝向与第三个V字型的开口朝向相反，且按顺次的第一个、第二个和第四个V字型的开口角度大于120°，第三个V字型的开口角度小于90°。

本实用新型实施例中的滤波器包括多个串联在输入端子和输出端子之间的薄膜体声波谐振器、及多个并联连接在串联连接的多个薄膜体声波谐振器节点之间的薄膜体声波谐振器。信号通过输入端子，经过上述多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器之后，可允许特定频率的信号通过。

结合第一方面，在一种可能的实现方式中，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同；所述多个并联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

结合第一方面，在一种可能的实现方式中，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和所述多个并联的薄膜体声波谐振器的并联谐振频率相同。