[实用新型]一种显影液喷头

说明书

本实用新型公开了一种显影液喷头，包括：固定盒，所述固定盒的内部为中空结构且下端形成开口，所述固定盒的内部水平设置有连接杆和导液管，所述连接杆和导液管垂直交叉设置且连接杆和导液管的两端分别与固定盒转动连接，所述连接杆的表面设置有蜗杆，所述导液管的中部安装有与蜗杆配合使用的蜗轮，所述导液管的底面还安装有若干个喷头。本实用新型在将固定盒安装后可以通过转动调节钮来带动内部螺杆转动，螺杆在转动后驱动涡轮带动导液管进行转动，可以对喷头进行一定角度的调整，提高喷头的适用性和功能性。喷头为两段式结构，通过螺套和螺管组成，可根据不同使用需求来对螺套进行更换，且螺套损坏后可以进行单独更换，降低使用成本。

技术领域

本实用新型涉及造影喷头技术领域，更具体为一种显影液喷头。

背景技术

喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂，每一个喷嘴对应一种材料，如图所示。在整个光刻工艺中，除了曝光，其余所有的步骤都是在匀胶显影机中完成的。匀胶显影机的主要工艺单元分别有晶圆表面增粘处理，光刻胶旋涂单元，边缘曝光，显影单元等，这些单元的装置都离不开喷嘴。

目前，现有的造影喷头存在如下问题：（1）安装在固定盒内部，喷头在安装完成后就无法进行角度调整，使用具有一定的局限性；（2）喷头损坏后需要整体更换，更换成本高。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种显影液喷头，解决了安装在固定盒内部，喷头在安装完成后就无法进行角度调整，使用具有一定的局限性；喷头损坏后需要整体更换，更换成本高的问题，满足实际使用需求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种显影液喷头，包括：固定盒，所述固定盒的内部为中空结构且下端形成开口，所述固定盒的内部水平设置有连接杆和导液管，所述连接杆和导液管垂直交叉设置且连接杆和导液管的两端分别与固定盒转动连接，所述连接杆的表面设置有蜗杆，所述导液管的中部安装有与蜗杆配合使用的蜗轮，所述导液管的底面还安装有若干个喷头。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述喷头包括螺管和螺套，所述螺管的上端与导液管固定连接，所述螺套螺纹连接在螺管的下端且螺套的内部与导液管的内部相连通。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述固定盒的顶部两侧分别安装有进液管，所述进液管的下端延伸至固定盒内部且连接有软管，所述软管的下端与导液管连接且内部连通。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述导液管的两端封闭且延伸至固定盒侧面，导液管的端部刻制有指针。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述连接杆的端部延伸至固定盒外并连接有调节钮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

（1）本实用新型，在将固定盒安装后可以通过转动调节钮来带动内部螺杆转动，螺杆在转动后驱动涡轮带动导液管进行转动，可以对喷头进行一定角度的调整，提高喷头的适用性和功能性。

（2）喷头为两段式结构，通过螺套和螺管组成，可根据不同使用需求来对螺套进行更换，且螺套损坏后可以进行单独更换，降低使用成本。

附图说明

图1为本实用新型所述显影液喷头的结构图；

图2为本实用新型所述显影液喷头的截面图。

图中:1、固定盒；2、进液管；3、调节钮；4、导液管；5、指针；6、软管；7、蜗杆；8、螺管；9、蜗轮；10、螺套；11、连接杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。