[实用新型]一种碳化设备

权利要求书

1.一种碳化设备，所述碳化设备用于碳化阴极组件的灯丝(6)，其特征在于，所述碳化设备为碳化炉(8)，所述碳化炉(8)包括活动上盖(9)、炉体(10)、第一气体口、第二气体口和电源装置，所述炉体(10)在上部具有开口，内部具有空腔，所述活动上盖(9)和炉体(10)配合使用，将炉体(10)打开或是闭合，所述活动上盖(9)上设置花洒(12)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化设备，其特征在于，所述活动上盖(9)或炉体(10)上设置第二气体口，所述第二气体口和碳源装置连接，用于向碳化炉(8)内部输送碳源。

3.根据权利要求1所述的一种碳化设备，其特征在于，所述花洒(12)和第二气体口连通。

4.根据权利要求1所述的一种碳化设备，其特征在于，所述活动上盖(9)或炉体(10)上设置第一气体口，所述第一气体口和抽真空装置连接，用于对碳化炉(8)的内部抽真空。

5.根据权利要求1所述的一种碳化设备，其特征在于，所述活动上盖(9)和炉体(10)通过螺钉连接实现密封。

6.根据权利要求5所述的一种碳化设备，其特征在于，所述活动上盖(9)和炉体(10)的外周侧分别对应设置延伸台(15)，所述延伸台(15)上开设有使螺钉通过的通孔。

7.根据权利要求1所述的一种碳化设备，其特征在于，所述炉体(10)在开口处安装弹性密封圈。

8.根据权利要求7所述的一种碳化设备，其特征在于，所述炉体(10)在开口处具有第一翻边(16)和第二翻边(17)，所述第二翻边(17)环绕设置在第一翻边(16)的外周，且第一翻边(16)和第二翻边(17)之间形成了容纳凹槽(18)，所述容纳凹槽(18)内设置弹性密封圈。

9.根据权利要求7所述的一种碳化设备，其特征在于，所述活动上盖(9)在开口处有抵接面(19)，所述抵接面(19)与第一翻边(16)、第二翻边(17)、弹性密封圈相互配合使用。

10.根据权利要求1所述的一种碳化设备，其特征在于，所述碳化炉(8)还包括放置台(20)，所述放置台(20)上排列设置多个放置孔(21)。