[实用新型]一种高精确度的薄膜厚度测量装置

权利要求书

1.一种高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于：包括底座(1)、支撑座一(2)、滚筒一(3)、电机一(4)、薄膜(5)、壳体(6)、清理轮一(7)、电机二(8)、清理轮二(9)、电机三(10)、连接座(11)、安装腔(12)、千分表(13)、锁紧螺钉(14)、滚轮一(15)、长槽(16)、滚轮二(17)、滚轮三(18)、滚轮四(19)、滚筒二(20)、电机四(21)和支撑座二(22)；

所述支撑座一(2)底部固定连接在底座(1)左上侧，所述支撑座一(2)前面上侧固定连接有电机一(4)；

所述滚筒一(3)活动连接在支撑座一(2)上侧内部，所述滚筒一(3)前侧中心与电机一(4)输出轴固定连接；

所述连接座(11)底部固定连接在底座(1)顶部中央，所述连接座(11)内部设有安装腔(12)，所述连接座(11)左上侧固定连接有壳体(6)；

所述千分表(13)下侧外部通过锁紧螺钉(14)固定连接在安装腔(12)上侧设置的中心孔内部；

所述长槽(16)为两个，两个所述长槽(16)均呈竖向开设在安装腔(12)前后壁上；

所述滚轮四(19)活动连接在安装腔(12)下侧；

所述壳体(6)后下侧外部固定连接有电机二(8)，所述壳体(6)后上侧外部固定连接有电机三(10)；

所述清理轮一(7)活动连接在壳体(6)内部下侧，所述清理轮一(7)后侧中心与电机二(8)输出轴固定连接；

所述清理轮二(9)活动连接在壳体(6)内部上侧，所述清理轮二(9)后侧中心与电机三(10)输出轴固定连接；

所述滚轮三(18)位于滚轮四(19)上侧，所述滚轮三(18)前后侧外部分别活动连接在对应的长槽(16)内部；

所述滚轮二(17)位于滚轮三(18)上侧，所述滚轮二(17)前后侧外部分别活动连接在对应的长槽(16)内部；

所述滚轮一(15)位于滚轮二(17)上侧，所述滚轮一(15)前后侧外部分别活动连接在对应的长槽(16)内部，所述滚轮一(15)顶面中央与千分表(13)下侧测头相连接；

所述支撑座二(22)底部固定连接在支撑座二(22)右上侧，所述支撑座二(22)前面上侧固定连接有电机四(21)；

所述滚筒二(20)活动连接在支撑座二(22)上侧内部，所述滚筒二(20)前侧中心与电机四(21)输出轴固定连接；

所述薄膜(5)一侧缠绕连接在滚筒一(3)上，所述薄膜(5)另一侧首先通过清理轮二(9)和清理轮一(7)之间，而后再依次通过滚轮二(17)和滚轮三(18)缠绕连接在滚筒二(20)上。

2.根据权利要求1所述的一种高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述清理轮二(9)和清理轮一(7)外圆面上均匀设有若干个刷毛。

3.根据权利要求1所述的一种高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述电机一(4)和电机四(21)均为伺服电机或步进电机。

4.根据权利要求1所述的一种高精确度的薄膜厚度测量装置，其特征在于：所述滚轮二(17)的直径等于滚轮三(18)的直径。