[实用新型]单晶硅坯料端面粘接定向仪

权利要求书

1.一种单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

它包括：

升降台（1）；

用于粘接固定单晶硅坯料的粘接盘；

与所述粘接盘相连、并用于调整所述粘接盘及单晶硅坯料角度的角度调整机构；

与所述升降台（1）相连以驱动升降台（1）升降至合适高度的升降驱动机构；

固定在升降台（1）上、并用于向单晶硅坯料端面提供入射射线的射线发生器（2）；

固定在升降台（1）上、并在单晶硅坯料被调整至合适角度时用于接收单晶硅坯料端面所衍射光线的射线接收器（3）。

2.根据权利要求1所述的单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

所述角度调整机构包括上圆盘（4）、支撑件（5）、下圆盘（6）和多个沿上圆盘（4）的周向排布的螺栓（7）；其中，

所述粘接盘固定在所述上圆盘（4）上；

所述支撑件（5）固定在所述下圆盘（6）的中间位置上，所述上圆盘（4）的中间位置与所述支撑件（5）之间形成球面配合；

所述螺栓（7）自上而下穿过上圆盘（4）、并旋拧进下圆盘（6）内。

3.根据权利要求2所述的单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

所述支撑件（5）通过螺钉固定在所述下圆盘（6）上。

4.根据权利要求1所述的单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

所述升降驱动机构包括架体（8）、丝杆（9）、螺母块、导向机构和驱动电机；其中，

所述丝杆（9）旋转支承在架体（8）上；

所述螺母块固定在升降台（1）上，并与所述丝杆（9）螺纹连接；

所述驱动电机与所述丝杆（9）相连以驱动丝杆（9）旋转；

所述导向机构设置在架体（8）和升降台（1）之间以导向所述升降台（1）升降。

5.根据权利要求4所述的单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

所述导向机构包括导向杆（10）和导套；其中，

所述导向杆（10）固定在架体（8）上，所述导套固定于升降台（1），并滑动套装在所述导向杆（10）上。

6.根据权利要求1所述的单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

所述入射光线为X射线。

7.根据权利要求2所述的单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

还包括底座、支撑盘和旋转驱动机构；其中，

所述支撑盘旋转支承在底座上，所述下圆盘（6）固定在所述支撑盘上；

所述旋转驱动机构与所述支撑盘相连以驱动支撑盘转动。

8.根据权利要求7所述的单晶硅坯料端面粘接定向仪，其特征在于，

所述旋转驱动机构包括相互啮合的蜗轮和蜗杆；其中，

所述蜗轮与所述支撑盘同轴相连，所述蜗杆旋转支承在所述底座上。