[实用新型]准分子祛除残胶设备有效
| 申请号： | 202121295157.3 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN214865831U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 李生强 | 申请（专利权）人： | 上海五临天机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海三方专利事务所(普通合伙) 31127 | 代理人： | 吴玮 |
| 地址： | 200540 上海市金山区亭*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子 祛除 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种准分子祛除残胶设备，其特征在于
至少包括一封闭的工作区域，所述工作区域底部为抽拉式的可旋转操作平台；
至少一个准分子灯箱，设置于共工作区域顶部；
至少一个氮气输入口，用于向工作区域内输入氮气，从而控制氧气浓度；
至少一个吸风罩和吹风罩，分别设置于工作区域的两侧。
2.如权利要求1所述的一种准分子祛除残胶设备，其特征在于所述的可旋转操作平台底部有旋转装置。
3.如权利要求1所述的一种准分子祛除残胶设备，其特征在于所述的准分子灯箱上是有灯管冷却风机的，所述的灯管冷却风机与顶部的第一出风口和一侧的第二出风口连通。
4.如权利要求1所述的一种准分子祛除残胶设备，其特征在于还包括反光板调节支架，安装在准分子灯箱底部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海五临天机电科技有限公司，未经上海五临天机电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121295157.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种过程控制综合实验装置
- 下一篇：一种自动辅助式卧推架装置
