[实用新型]一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置

说明书

本实用新型提供了一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其能减小超滤进水因更换树脂导致水质变差带来的影响，保证出水水质的稳定性。其包括超滤装置一和超滤装置二，超滤装置一的进水口、超滤装置二的进水口分别通过进水阀一、进水阀二与总进水口连接，超滤装置一的产水口、超滤装置二的产水口分别通过产水阀一、产水阀二与产水排出口连接，超滤装置一的产水口还通过切换阀与超滤装置二的进水口连接。

技术领域

本实用新型涉及水处理设备技术领域，具体为一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置。

背景技术

超纯水是集成电路和平板显示行业电子产品生产中必不可少的一种原材料，水质要求很高。其中，集成电路超纯水的颗粒要求是颗粒（0.05µm）个数500pcs/L，平板显示超纯水的颗粒要求是颗粒（0.2µm）个数10pcs/mL。

超纯水颗粒的抛光处理目前主要采用超滤装置，通过膜表面机械筛分、膜孔阻滞和膜表面及膜孔吸附等作用，去除水中的颗粒物质，并在超滤装置出水侧设置颗粒计，检测超纯水颗粒含量。单个超滤装置的处理水量有限，通常会采用多个装置并联，“N+1”的设计方式，并在设计中预留充足的安全裕量，例如，如图1所示的传统“1+1”超滤装置，超滤进水经过超滤进水阀1均匀分配到超滤装置一4和超滤装置二5，超滤装置一4配备进水阀一2、浓水阀一6和产水阀一7，超滤装置二5配备进水阀二3、浓水阀二8和产水阀二9，经过浓水阀一6和浓水阀二8的浓水汇集经过浓水排出阀10排出，经过产水阀一7和产水阀二9的产水汇集经过颗粒计11后由产水排出阀12排出，但当超滤装置前端的抛光混床更换树脂后，抛光树脂会有颗粒溶出，超滤进水水质变差，影响终端超纯水水质。

实用新型内容

针对传统超纯水抛光处理装置更换树脂后会导致超纯水水质发生波动的问题，本实用新型提供了一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其能减小超滤进水因更换树脂导致水质变差带来的影响，保证出水水质的稳定性。

其技术方案是这样的：一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其包括超滤装置一和超滤装置二，超滤装置一的进水口、超滤装置二的进水口分别通过进水阀一、进水阀二与总进水口连接，超滤装置一的产水口、超滤装置二的产水口分别通过产水阀一、产水阀二与产水排出口连接，超滤装置一的产水口还通过切换阀与超滤装置二的进水口连接。

优选的，超滤装置一的浓水出口和超滤装置二的浓水出口分别通过浓水阀一、浓水阀二与浓水排出口连接。

优选的，总进水口，产水排出口和浓水排出口分别连接有超滤进水阀、产水排出阀和浓水排出阀。

优选的，产水排出口还连接有颗粒计。

有益效果：正常使用时，关闭切换阀，从总进水口进入的水通过进水阀一和进水阀二后分别进入超滤装置一和超滤装置二，经过超滤装置一和超滤装置二处理后，产水由产水排出口排出；当因更换树脂影响进水水质时，关闭进水阀二，关闭产水阀一，打开切换阀，超滤装置一的产水通过切换阀再次进入超滤装置二中进一步处理再排出，可以有效稳定水质。

附图说明

图1为传统抛光处理装置示意图；

图2为本实用新型示意图。

具体实施方式

如图2所示的一种超纯水颗粒的二次抛光处理装置，其包括超滤装置一4和超滤装置二5，超滤装置一4的进水口、超滤装置二5的进水口分别通过进水阀一2、进水阀二3与总进水口100连接，总进水口100通过超滤进水阀1控制水的进入，超滤装置一4的产水口、超滤装置二5的产水口分别通过产水阀一7、产水阀二9与产水排出口200连接，产水排出口200处安装有颗粒计11，产水排出口200通过产水排出阀12控制产水排出，超滤装置一4的浓水出口和超滤装置二5的浓水出口分别通过浓水阀一6、浓水阀二8与浓水排出口300连接，浓水排出口300通过浓水排出阀10控制浓水排出，超滤装置一4的产水口还通过切换阀13与超滤装置二5的进水口连接。