[实用新型]异形溅射靶材有效
| 申请号： | 202121229865.7 | 申请日： | 2021-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN215251137U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 郜锋 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市英达泰新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237 | 代理人： | 李冰 |
| 地址： | 721013 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 异形 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.异形溅射靶材，包括靶材基体（1）；其特征在于：所述靶材基体（1）为立方体结构，且靶材基体（1）的溅射面（2）背面中心具有导向定位槽（3）；所述导向定位槽（3）槽形横截面为T形结构。
2.根据权利要求1所述异形溅射靶材，其特征在于：所述靶材基体（1）为钛基体靶材。
3.根据权利要求1所述异形溅射靶材，其特征在于：所述靶材基体（1）的晶粒度小于100μm。
4.根据权利要求1所述异形溅射靶材，其特征在于：所述导向定位槽（3）的槽体深度小于等于三分之一靶材基体（1）的溅射厚度。
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