[实用新型]一种用于薄膜型气体传感元件的电极衬底

说明书

本实用新型提供一种用于薄膜型气体传感元件的电极衬底。所述用于薄膜型气体传感元件的电极衬底包括玻璃纤维环氧树脂基底；电极，所述电极设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底的上表面；插针，所述插针设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底的下表面；过孔焊盘，所述过孔焊盘设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底上。本实用新型提供的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底具有使用方便、可以降低成本的优点。

技术领域

本实用新型涉及电极衬底技术领域，尤其涉及一种用于薄膜型气体传感元件的电极衬底。

背景技术

微纳电极在传感器领域有着广泛的应用，一般用于敏感材料的电信号测量，比较常见的电极形式为叉指电极，这种电极能在有限的空间体积内提供尽可能多的传感电信号通道，提高测量灵敏度。

现有的叉指电极通常是在硅基衬底上通过半导体光刻工艺制作，成本很高，硅基衬底呈脆性，受振动或跌落易碎裂，在硅基衬底上制作的电极结构与外部测量电路连接时亦不方便，一般要通过设备引线然后邦定，进一步增加了器件制作和使用的复杂度。

因此，有必要提供一种新的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、可以降低成本的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底包括：玻璃纤维环氧树脂基底；两个电极，两个所述电极均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底的顶部；多个插针，多个所述插针均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底的底部；两个过孔焊盘，两个所述过孔焊盘均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底上。

优选的，所述玻璃纤维环氧树脂基底设为圆盘状，所述电极是通过印刷电路板工艺制作而成。

优选的，两个所述电极均设为平面螺旋状结构，且两个所述电极呈螺旋交错分布。

优选的，多个所述插针均焊接在玻璃纤维环氧树脂基底底部。

优选的，多个所述插针均采用标准尺寸的排针，且多个所述插针均通过所述玻璃纤维环氧树脂基底上的两个所述过孔焊盘与两个所述电极形成电学连接。

与相关技术相比较，本实用新型提供的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底具有如下有益效果：

通过插针的运用，可无需绑定引线，从而可以提高测量效率，且通过成熟的印刷电路工艺代替光刻工艺，可以将通常的硅基平面电极改为印刷电路板电极，当用于薄膜型气体传感器制作时，便可以降低生产成本，简化生产工艺，同时也让气敏元件的使用更加方便。

附图说明

图1为本实用新型提供的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底的一种较佳实施例的主视结构示意图。

图中标号：1、玻璃纤维环氧树脂基底；2、电极；3、插针；4、过孔焊盘。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1，其中，图1为本实用新型提供的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底的一种较佳实施例的主视结构示意图。用于薄膜型气体传感元件的电极衬底包括：玻璃纤维环氧树脂基底1，作为整个电极衬底的核心，方便对电极进行支撑安装；两个电极2，两个所述电极2均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底1的顶部；多个插针3，多个所述插针3均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底1的底部，方便将整个电极衬底进行安装；两个过孔焊盘4，两个所述过孔焊盘4均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底1上。

为了方便刻印电极2，且为了节约刻印的成本，所述玻璃纤维环氧树脂基底1设为圆盘状，所述电极2是通过印刷电路板工艺制作而成。