[实用新型]一种用于薄膜型气体传感元件的电极衬底有效

专利信息
申请号: 202121103804.6 申请日: 2021-05-21
公开(公告)号: CN214749931U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 谢波;陈敏瑞;张梁鑫 申请(专利权)人: 浙江固微科技有限公司
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 代理人: 崔新芬
地址: 311400 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 薄膜 气体 传感 元件 电极 衬底
【权利要求书】:

1.一种用于薄膜型气体传感元件的电极衬底,其特征在于,包括:

玻璃纤维环氧树脂基底(1);

两个电极(2),两个所述电极(2)均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底(1)的顶部;

多个插针(3),多个所述插针(3)均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底(1)的底部;

两个过孔焊盘(4),两个所述过孔焊盘(4)均设置在所述玻璃纤维环氧树脂基底(1)上。

2.根据权利要求1所述的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底,其特征在于,所述玻璃纤维环氧树脂基底(1)设为圆盘状,所述电极(2)是通过印刷电路板工艺制作而成。

3.根据权利要求1所述的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底,其特征在于,两个所述电极(2)均设为平面螺旋状结构,且两个所述电极(2)呈螺旋交错分布。

4.根据权利要求1所述的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底,其特征在于,多个所述插针(3)均焊接在玻璃纤维环氧树脂基底(1)底部。

5.根据权利要求1所述的用于薄膜型气体传感元件的电极衬底,其特征在于,多个所述插针(3)均采用标准尺寸的排针,且多个所述插针(3)均通过所述玻璃纤维环氧树脂基底(1)上的两个所述过孔焊盘(4)与两个所述电极(2)形成电学连接。

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