[实用新型]绝缘结构和镀膜设备

说明书

本实用新型公开一种绝缘结构和镀膜设备，其中，绝缘结构用于镀膜设备，镀膜设备内设有溅射底板和皮带盖板，绝缘结构夹设于溅射底板和皮带盖板之间。绝缘结构包括绝缘主体和绝缘凸块，绝缘主体的一表面形成有凹槽，绝缘凸块设于凹槽的槽底壁，且绝缘凸块至少部分显露于凹槽的槽口。本申请提供的绝缘结构可以增大金属分子导通溅射底板与皮带盖板所需覆盖的面积，延长绝缘结构的作用时间，提高绝缘效果和产品的合格率。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，特别涉及一种绝缘结构和镀膜设备。

背景技术

玻璃可以在镀膜设备中进行镀膜，以使玻璃具备防辐射和防光等性能。镀膜设备设有镀膜腔室，镀膜腔室内设有溅射底板，由于设备安装的必然性，溅射底板与腔室之间还有一个皮带盖板。为了防止溅射底板与镀膜腔室导通发生放电现象，避免放电现象造成玻璃产品表面膜层出现电弧状缺陷影响产品外观，造成产品报废，市场目前对皮带盖板与溅射底板之间的绝缘手段主要采用绝缘块进行隔离绝缘。但相关技术中的绝缘块为规则块状结构，在长期使用后，飘荡的金属分子容易附着在绝缘块的表面，使得溅射底板与皮带盖板导通，从而导致溅射底板与镀膜腔室导通，造成镀膜腔室内出现放电现象，影响产品质量，降低产品的合格率。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种绝缘结构，旨在提高绝缘效果，提高产品合格率。

为实现上述目的，本实用新型提出的绝缘结构，所述绝缘结构用于镀膜设备，所述镀膜设备内设有溅射底板和皮带盖板，所述绝缘结构夹设于所述溅射底板和所述皮带盖板之间，所述绝缘结构包括：

绝缘主体，所述绝缘主体的一表面形成有凹槽；和

绝缘凸块，所述绝缘凸块设于所述凹槽的槽底壁，且所述绝缘凸块至少部分显露于所述凹槽的槽口。

在本申请的一例实施例中，所述绝缘主体包括：

绝缘板，所述绝缘凸块设于所述绝缘板的一板面；和

绝缘凸筋，所述绝缘凸筋环绕所述绝缘凸块设置，并与所述绝缘板围合形成所述凹槽。

在本申请的一例实施例中，所述绝缘凸块包括：

凸起部，所述凸起部设于所述绝缘板；和

盖板，所述盖板设于所述凸起部背离所述绝缘板的一侧，所述盖板、所述凸起部以及所述绝缘板围合形成第一延伸槽，所述第一延伸槽与所述凹槽连通，所述第一延伸槽的槽口朝向所述绝缘凸筋设置。

在本申请的一例实施例中，所述第一延伸槽为方形槽。

在本申请的一例实施例中，所述绝缘凸筋朝向所述绝缘凸块的表面凹设形成第二延伸槽，所述第二延伸槽与所述凹槽连通，所述第二延伸槽环绕所述绝缘凸筋设置。

在本申请的一例实施例中，所述第一延伸槽为弧形槽或方形槽；

和/或，所述第二延伸槽为弧形槽或方形槽。

在本申请的一例实施例中，所述绝缘主体为圆柱形，所述绝缘凸块为圆柱形，所述绝缘主体与所述绝缘凸块的中心轴线重叠设置。

在本申请的一例实施例中，所述绝缘主体和所述绝缘凸块为一体结构。

在本申请的一例实施例中，定义所述溅射底板朝向所述皮带盖板的方向为竖直方向，定义所述绝缘结构的在竖直方向上的厚度值为H，8mm≤H≤12mm；

和/或，定义所述溅射底板朝向所述皮带盖板的方向为竖直方向，定义所述绝缘主体在竖直方向上的厚度值为L1，所述绝缘凸块显露出所述凹槽的槽口的部分在竖直方向上的厚度值为L2，L1＞L2。

本申请还提供一种镀膜设备，所述镀膜设备包括溅射底板、皮带盖板以及绝缘结构，所述绝缘结构包括：