[实用新型]一种清洁和抛光用氧化铈研磨盘有效

专利信息
申请号: 202121031570.9 申请日: 2021-05-14
公开(公告)号: CN214642752U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 李维民 申请(专利权)人: 深圳杰明纳微电子科技有限公司
主分类号: B24B37/11 分类号: B24B37/11;B24B37/16;B24B37/34;B24B57/04
代理公司: 滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙) 34167 代理人: 洪余节
地址: 518110 广东省深圳市龙华*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洁 抛光 氧化 研磨
【权利要求书】:

1.一种清洁和抛光用氧化铈研磨盘,包括研磨盘本体(1),其特征在于:所述研磨盘本体(1)两端面上开设有用于放置超细纤维的网格状凹槽(11)以及两端面中心位置处均开设有阶梯孔(5),所述研磨盘本体(1)顶部设置有用于放置抛光粉并向工件散落抛光粉的放置盒(2)。

2.根据权利要求1所述的一种清洁和抛光用氧化铈研磨盘,其特征在于,所述网格状凹槽(11)的深度为所述研磨盘本体(1)的1/10-3/10以及宽度为1-2.5mm。

3.根据权利要求1所述的一种清洁和抛光用氧化铈研磨盘,其特征在于,所述放置盒(2)包括封盖(21)和收集盒(22),所述封盖(21)顶部对称设置有进入口(3),所述进入口(3)螺纹配合设置有无头螺丝,所述收集盒(22)内部底面上沿放置盒(2)中心呈圆形陈列分布渗孔(8)。

4.根据权利要求3所述的一种清洁和抛光用氧化铈研磨盘,其特征在于,所述收集盒(22)内部底面上设置有遮挡渗孔(8)的渗布(7),所述收集盒(22)底面上设置有胶圈。

5.根据权利要求1所述的一种清洁和抛光用氧化铈研磨盘,其特征在于,所述放置盒(2)的顶部设置有螺栓(6),所述螺栓(6)底部贯穿放置盒(2)并延伸至与所述放置盒(2)相对一侧的阶梯孔(5)内、且阶梯孔(5内设置有螺母螺纹配合锁紧。

6.根据权利要求5所述的一种清洁和抛光用氧化铈研磨盘,其特征在于,所述放置盒(2)底部设置有与阶梯孔(5)相配合填充块(4),所述填充块(4)中心开设有螺栓(6)通过的过孔。

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