[实用新型]一种新型纳米压印光刻机有效

专利信息
申请号: 202120900674.2 申请日: 2021-04-28
公开(公告)号: CN214704307U 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 孙立;胡金鑫;刘晖 申请(专利权)人: 青岛影创信息科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海港慧专利代理事务所(普通合伙) 31402 代理人: 卞小婷
地址: 266288 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 纳米 压印 光刻
【说明书】:

实用新型公开了一种新型纳米压印光刻机,包括操作台,所述操作台的底部电性连接有光刻机,所述操作台的左右两侧分别安装有连接机构,所述连接机构包括外壳、第一螺纹杆、第一把手、套板和磁块,所述外壳的内壁与操作台的外侧相贴合。从而使套板带动磁块向下移动,进而使磁块插入到操作台顶部磁槽内部,实现了拆卸便于维修,降低了操作难度,提高了工作效率,进而配合圆板使竖板向内侧转动,转动的竖板配合槽板对物件进行固定,防止了位置偏移,保证与设备对准,确保正常使用,提高了实用性,随后让竖杆在滑槽内壁前后滑动,接着使立板插入对应的凹槽即可,实现了位置调节,满足使用者的需求,提高了使用舒适度,便于推广。

技术领域

本实用新型涉及新型纳米压印光刻机技术领域,具体为一种新型纳米压印光刻机。

背景技术

纳米压印光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,常用的光刻机是掩膜对准光刻,在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程。

现有的纳米压印光刻机在使用时,滑动外壳无法拆卸,维修时其他设备容易造成遮挡,增加了操作难度,降低了工作效率,并且加工物件直接放在支撑板上,容易发生偏移与设备无法对准,影响正常使用,降低了实用性,并且显示设备位置无法调节,无法根据使用者需要调整,影响使用舒适度,不符合现代人的使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型纳米压印光刻机,以解决上述背景技术中提出现有的纳米压印光刻机在使用时,滑动外壳无法拆卸,维修时其他设备容易造成遮挡,增加了操作难度,降低了工作效率的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种新型纳米压印光刻机,包括操作台,所述操作台的底部电性连接有光刻机,所述操作台的左右两侧分别安装有连接机构;

所述连接机构包括外壳、第一螺纹杆、第一把手、套板和磁块;

所述外壳的内壁与操作台的外侧相贴合,所述外壳的顶部与第一螺纹杆的外壁上方转动相连,所述第一螺纹杆的顶部与第一把手的底部相固接,所述第一螺纹杆的外壁与套板的内壁螺纹连接,所述套板的底部内侧与磁块的顶部相固接。实现拆卸维修。

优选的,两个所述套板的外侧分别与外壳的内侧长槽滑动卡接,两个所述磁块的外壁分别与操作台的顶部左右两侧长槽活动相连。磁块可以在长槽内壁左右滑动。

优选的,所述光刻机的底部四角分别固接有底座。底座支撑整个装置稳定工作。

优选的,两个所述外壳的内侧顶部分别固接有短板,两个所述短板的内侧均安装有固定机构;

所述固定机构包括横板、竖板、槽板、圆板、直板、第二螺纹杆和第二把手;

所述横板的外侧分别与短板的内侧底部相固接,所述横板正面两侧槽口分别与竖板的内壁转动相连,两个所述竖板的内侧顶部分别与槽板的外侧相固接,两个所述竖板的下方分别与圆板的外壁滑动卡接,两个所述圆板的后端面分别与直板的正面左右两侧相固接,所述直板的内壁与第二螺纹杆的外壁螺纹连接,所述第二螺纹杆的顶部与横板的底部转动相连,所述第二螺纹杆的底部与第二把手的顶部相固接。使加工物件位置固定。

优选的,所述横板的底部固接有方架,所述方架的底部与第二螺纹杆的外壁下方活动相连。第二螺纹杆受力在方架底部槽口内壁进行转动。

优选的,所述光刻机的顶部加工有滑槽,所述光刻机的顶部右侧等距加工有凹槽。保证调节机构正常工作。

优选的,所述滑槽的内壁安装有调节机构;

所述调节机构包括竖杆、显示设备、圆环和立板;

所述竖杆的底部与滑槽的内壁滑动卡接,所述竖杆的正面顶部与显示设备的后端面相固接,所述竖杆的外壁与圆环的内壁滑动卡接,所述圆环的右侧与立板的左侧顶部相固接。方便调节显示设备的位置。

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