[实用新型]一种新型纳米压印光刻机有效
| 申请号: | 202120900674.2 | 申请日: | 2021-04-28 |
| 公开(公告)号: | CN214704307U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
| 发明(设计)人: | 孙立;胡金鑫;刘晖 | 申请(专利权)人: | 青岛影创信息科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海港慧专利代理事务所(普通合伙) 31402 | 代理人: | 卞小婷 |
| 地址: | 266288 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 新型 纳米 压印 光刻 | ||
1.一种新型纳米压印光刻机,包括操作台(1),其特征在于:所述操作台(1)的底部电性连接有光刻机(5),所述操作台(1)的左右两侧分别安装有连接机构(2);
所述连接机构(2)包括外壳(201)、第一螺纹杆(202)、第一把手(203)、套板(204)和磁块(205);
所述外壳(201)的内壁与操作台(1)的外侧相贴合,所述外壳(201)的顶部与第一螺纹杆(202)的外壁上方转动相连,所述第一螺纹杆(202)的顶部与第一把手(203)的底部相固接,所述第一螺纹杆(202)的外壁与套板(204)的内壁螺纹连接,所述套板(204)的底部内侧与磁块(205)的顶部相固接。
2.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:两个所述套板(204)的外侧分别与外壳(201)的内侧长槽滑动卡接,两个所述磁块(205)的外壁分别与操作台(1)的顶部左右两侧长槽活动相连。
3.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述光刻机(5)的底部四角分别固接有底座(6)。
4.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:两个所述外壳(201)的内侧顶部分别固接有短板(7),两个所述短板(7)的内侧均安装有固定机构(3);
所述固定机构(3)包括横板(301)、竖板(302)、槽板(303)、圆板(304)、直板(305)、第二螺纹杆(306)和第二把手(307);
所述横板(301)的外侧分别与短板(7)的内侧底部相固接,所述横板(301)正面两侧槽口分别与竖板(302)的内壁转动相连,两个所述竖板(302)的内侧顶部分别与槽板(303)的外侧相固接,两个所述竖板(302)的下方分别与圆板(304)的外壁滑动卡接,两个所述圆板(304)的后端面分别与直板(305)的正面左右两侧相固接,所述直板(305)的内壁与第二螺纹杆(306)的外壁螺纹连接,所述第二螺纹杆(306)的顶部与横板(301)的底部转动相连,所述第二螺纹杆(306)的底部与第二把手(307)的顶部相固接。
5.根据权利要求4所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述横板(301)的底部固接有方架(8),所述方架(8)的底部与第二螺纹杆(306)的外壁下方活动相连。
6.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述光刻机(5)的顶部加工有滑槽(9),所述光刻机(5)的顶部右侧等距加工有凹槽(10)。
7.根据权利要求6所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述滑槽(9)的内壁安装有调节机构(4);
所述调节机构(4)包括竖杆(401)、显示设备(402)、圆环(403)和立板(404);
所述竖杆(401)的底部与滑槽(9)的内壁滑动卡接,所述竖杆(401)的正面顶部与显示设备(402)的后端面相固接,所述竖杆(401)的外壁与圆环(403)的内壁滑动卡接,所述圆环(403)的右侧与立板(404)的左侧顶部相固接。
8.根据权利要求7所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述立板(404)的底部与位于后端的凹槽(10)的内壁相插接。
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