[实用新型]一种新型纳米压印光刻机有效

专利信息
申请号: 202120900674.2 申请日: 2021-04-28
公开(公告)号: CN214704307U 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 孙立;胡金鑫;刘晖 申请(专利权)人: 青岛影创信息科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海港慧专利代理事务所(普通合伙) 31402 代理人: 卞小婷
地址: 266288 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 纳米 压印 光刻
【权利要求书】:

1.一种新型纳米压印光刻机,包括操作台(1),其特征在于:所述操作台(1)的底部电性连接有光刻机(5),所述操作台(1)的左右两侧分别安装有连接机构(2);

所述连接机构(2)包括外壳(201)、第一螺纹杆(202)、第一把手(203)、套板(204)和磁块(205);

所述外壳(201)的内壁与操作台(1)的外侧相贴合,所述外壳(201)的顶部与第一螺纹杆(202)的外壁上方转动相连,所述第一螺纹杆(202)的顶部与第一把手(203)的底部相固接,所述第一螺纹杆(202)的外壁与套板(204)的内壁螺纹连接,所述套板(204)的底部内侧与磁块(205)的顶部相固接。

2.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:两个所述套板(204)的外侧分别与外壳(201)的内侧长槽滑动卡接,两个所述磁块(205)的外壁分别与操作台(1)的顶部左右两侧长槽活动相连。

3.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述光刻机(5)的底部四角分别固接有底座(6)。

4.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:两个所述外壳(201)的内侧顶部分别固接有短板(7),两个所述短板(7)的内侧均安装有固定机构(3);

所述固定机构(3)包括横板(301)、竖板(302)、槽板(303)、圆板(304)、直板(305)、第二螺纹杆(306)和第二把手(307);

所述横板(301)的外侧分别与短板(7)的内侧底部相固接,所述横板(301)正面两侧槽口分别与竖板(302)的内壁转动相连,两个所述竖板(302)的内侧顶部分别与槽板(303)的外侧相固接,两个所述竖板(302)的下方分别与圆板(304)的外壁滑动卡接,两个所述圆板(304)的后端面分别与直板(305)的正面左右两侧相固接,所述直板(305)的内壁与第二螺纹杆(306)的外壁螺纹连接,所述第二螺纹杆(306)的顶部与横板(301)的底部转动相连,所述第二螺纹杆(306)的底部与第二把手(307)的顶部相固接。

5.根据权利要求4所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述横板(301)的底部固接有方架(8),所述方架(8)的底部与第二螺纹杆(306)的外壁下方活动相连。

6.根据权利要求1所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述光刻机(5)的顶部加工有滑槽(9),所述光刻机(5)的顶部右侧等距加工有凹槽(10)。

7.根据权利要求6所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述滑槽(9)的内壁安装有调节机构(4);

所述调节机构(4)包括竖杆(401)、显示设备(402)、圆环(403)和立板(404);

所述竖杆(401)的底部与滑槽(9)的内壁滑动卡接,所述竖杆(401)的正面顶部与显示设备(402)的后端面相固接,所述竖杆(401)的外壁与圆环(403)的内壁滑动卡接,所述圆环(403)的右侧与立板(404)的左侧顶部相固接。

8.根据权利要求7所述的一种新型纳米压印光刻机,其特征在于:所述立板(404)的底部与位于后端的凹槽(10)的内壁相插接。

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