[实用新型]晶圆取放装置

权利要求书

1.一种晶圆取放装置，其特征在于，包括：

承载管组件，所述承载管组件为弯折设置且弯折角度可调，所述承载管组件的一端内嵌有具有吸附腔的吸附组件，所述吸附组件的一端从所述承载管组件露出；

真空泵组件，所述真空泵组件与所述吸附腔连通并作用于所述吸附腔，所述吸附组件露出所述承载管组件的一端在所述真空泵组件的作用下，吸附或释放所述晶圆。

2.如权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述承载管组件包括具有第一气流通道的第一承载管，所述第一承载管为弯折设置且弯折角度可调；所述吸附组件与所述第一气流通道的一端连通，所述真空泵组件与所述第一气流通道的另一端连通，以使所述真空泵组件通过所述第一气流通道与所述吸附腔连通。

3.如权利要求2所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述第一承载管的材质为：不锈钢或硅橡胶。

4.如权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述承载管组件包括具有第二气流通道的第二承载管和套设在所述第二承载管上的第一承载管，所述第一承载管为弯折设置且弯折角度可调；所述吸附组件与所述第二气流通道的一端连通，所述真空泵组件与所述第二气流通道的另一端连通，以使所述真空泵组件通过所述第二气流通道与所述吸附腔连通。

5.如权利要求4所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述第二承载管为弯折设置且弯折角度可调，所述第一承载管和所述第二承载管的弯折位置相匹配。

6.如权利要求4所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述第二承载管突出于所述第一承载管，所述第二承载管突出所述第一承载管的部分与所述真空泵组件连接。

7.如权利要求6所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述第二承载管突出于所述第一承载管的部分上套设有增强管，所述增强管用于增强所述第二承载管的强度。

8.如权利要求4所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述第二承载管的硬度小于所述第一承载管的硬度。

9.如权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述承载管组件弯折的角度范围为30°～90°。

10.如权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述真空泵组件包括真空泵和设置在所述真空泵上的开关，所述开关用于控制所述真空泵对所述吸附腔抽真空或破真空。

11.如权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述真空泵组件包括真空泵和设置在所述承载管组件上的开关，所述真空泵用于抽真空，所述开关用于切断所述真空泵与所述吸附腔的连通以破真空。

12.如权利要求1所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述吸附组件包括连接件和具有吸附腔的吸嘴，所述连接件的一端内嵌至所述承载管组件，另一端与所述吸嘴连接。

13.如权利要求12所述的晶圆取放装置，其特征在于，所述连接件和/或所述吸嘴具有弹性。