[实用新型]一种镀膜匀称的镀膜构件

说明书

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种镀膜匀称的镀膜构件，包括加工箱，加工箱的内部平行设置有基片，所述加工箱的内部下端通过轴承活动安装有驱动件，驱动件与基片呈上下平行设置，驱动件上等距固定安装有多组密封旋转装置，所述加工箱的外壁面固定安装有内部设置电机的电机箱。本实用新型中，冷却液可以继续在冷却液流动管一、连接软管、冷却液流动管二和滑动管的内部流动，由于冷却液流动管一、连接软管和冷却液流动管二呈伸展状态，这时冷却液流动管一、连接软管、冷却液流动管二内部的冷却液可以快速流动，使得基片可以快速冷却下来，大大提高了镀膜后的冷却时间，达到了提高了冷却效率的效果。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜匀称的镀膜构件。

背景技术

当前的常见镀膜设备，真空腔室构成一个空间，真空腔室外壁由耐腐蚀的不锈钢材料构成，由于基片的温度范围控制在300～1200℃，而根据实际需要及安全考虑，腔室外壁不能超过60℃，所以，腔室外壁会设计有冷却水系统，确保工艺过程中，腔室壁温度稳定。当前，加热一般采用红外灯管作为加热源，通过热辐射，基片升温速度很快，可达到20度/秒以上，甚至可以把基片的加热分别在两个腔室分段进行，第一个腔室的作用是预热，比如加热到500摄氏度，然后再传入第二个腔室，即加工箱室，能迅速加热到工艺温度(比如700℃)，节省加热所需的时间，提高设备的产能。

但在加工箱室内，基片在不同工艺阶段需要切换成不同的温度，部分相邻工艺步骤之间需要降低温度，并且在工艺结束后，基片温度必须降低到一定范围才能传出加工箱室，一般在400℃左右，如果在较高温度下传出长有膜层的基片，新生成的膜层将在高温下挥发分解，造成膜层质量下降，并污染传输腔室。在这些温度降低的过程中，当前常用的方法是停止红外灯管的能量，通过腔室壁(恒温，25℃)的冷却系统将热量带走，基片冷却时间较长，从而降低了设备产能。为此，我们提出一种镀膜匀称的镀膜构件。

实用新型内容

本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种镀膜匀称的镀膜构件。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案，一种镀膜匀称的镀膜构件，包括加工箱和基片，基片位于加工箱的内部，所述加工箱的内部下端通过轴承活动安装有驱动件，驱动件上等距设置有多组密封旋转装置；

所述加工箱的外侧安装有内部设置电机的电机箱，加工箱的内部设置有主连接管，主连接管位于基片的上端，主连接管上等距固定安装有多组固定套，固定套的内侧固定安装有冷却液流动管一，加工箱的内部开设有滑动槽，滑动槽的内部活动连接有滑动管，所述滑动管靠近主连接管固定安装有多组冷却液流动管二。

作为优选，所述加工箱的内部通过连接柱固定安装有加热灯管，加热灯管的外圆处设置有加热灯罩。

作为优选，所述电机箱内部电机的输出端与主连接管固定连接，主连接管的左侧通过轴承与加工箱的内部壁面活动连接。

作为优选，左侧所述滑动槽贯穿加工箱的左侧壁面，滑动管的左端贯穿左侧滑动槽与外界冷却液回流管连通。

作为优选，所述冷却液流动管二与冷却液流动管一靠近的一端通过连接软管连接。

作为优选，所述冷却液流动管二与冷却液流动管一内部连通，冷却液流动管二与滑动管的内部连通，冷却液流动管一与冷却液流动管二相互靠近的一端外壁面上均活动安装有连接齿轮，两组连接齿轮之间相互紧密贴合并啮合连接在一起。

有益效果

本实用新型提供了一种镀膜匀称的镀膜构件。具备以下有益效果：