[实用新型]一种镀膜匀称的镀膜构件有效

专利信息
申请号: 202120838110.0 申请日: 2021-04-22
公开(公告)号: CN214655226U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 邓韦伟;刘俊杰 申请(专利权)人: 福州欧冶光电有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54
代理公司: 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 代理人: 刘英
地址: 350007 福建省福州市仓山区建新镇*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 匀称 构件
【权利要求书】:

1.一种镀膜匀称的镀膜构件,包括加工箱(1)和基片(2),基片(2)位于加工箱(1)的内部,其特征在于:所述加工箱(1)的内部下端通过轴承活动安装有驱动件(6),驱动件(6)上等距设置有多组密封旋转装置(7);

所述加工箱(1)的外侧安装有内部设置电机的电机箱(8),加工箱(1)的内部设置有主连接管(9),主连接管(9)位于基片(2)的上端,主连接管(9)上等距固定安装有多组固定套(10),固定套(10)的内侧固定安装有冷却液流动管一(11),加工箱(1)的内部开设有滑动槽(16),滑动槽(16)的内部活动连接有滑动管(15),所述滑动管(15)靠近主连接管(9)固定安装有多组冷却液流动管二(13)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述加工箱(1)的内部通过连接柱(3)固定安装有加热灯管(4),加热灯管(4)的外圆处设置有加热灯罩(5)。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述电机箱(8)内部电机的输出端与主连接管(9)固定连接,主连接管(9)的左侧通过轴承与加工箱(1)的内部壁面活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:左侧所述滑动槽(16)贯穿加工箱(1)的左侧壁面,滑动管(15)的左端贯穿左侧滑动槽(16)与外界冷却液回流管连通。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述冷却液流动管二(13)与冷却液流动管一(11)靠近的一端通过连接软管(12)连接。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述冷却液流动管二(13)与冷却液流动管一(11)内部连通,冷却液流动管二(13)与滑动管(15)的内部连通,冷却液流动管一(11)与冷却液流动管二(13)相互靠近的一端外壁面上均活动安装有连接齿轮(14),两组连接齿轮(14)之间相互紧密贴合并啮合连接在一起。

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