[实用新型]一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置

权利要求书

1.一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，包括混料桶、支撑架和上盖，所述混料桶外侧的上端设有进料口，并且底部设有出料口，其特征在于，所述混料装置还包括：

至少两个第一板体，所述第一板体上具有多个用于搅拌清洗剂的搅拌件；

至少两个第二板体，所述第二板体上具有过滤网；

驱动组件，所述驱动组件用于带动第一板体和第二板体绕混料桶的轴向方向反向旋转。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动件以及齿轮组件，所述齿轮组件由依次啮合的驱动齿轮、传动齿轮以及从动齿轮组成，所述从动齿轮为环形结构，所述驱动齿轮和传动齿轮位于从动齿轮的内侧。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述驱动齿轮与驱动件的输出端固定连接，并且驱动齿轮的底部固定连接有第二杆体，所述第二板体与第二杆体固定连接，并且第二板体沿混料桶的径向方向延伸。

4.根据权利要求2所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述从动齿轮的外侧固定连接有第一杆体，且第一杆体沿混料桶的径向方向延伸，所述第一杆体与第一板体固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述第一板体与第一杆体之间具有30-60°的夹角。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述搅拌件为螺旋桨，所述第一板体上具有与螺旋桨水平对齐的通孔。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述混料桶的内壁上具有环形的滑槽，所述第一板体靠近混料桶内壁的一侧具有与滑槽配合的凸起。

8.根据权利要求1所述的一种光刻胶残留物清洗剂生产用混料装置，其特征在于，所述过滤网的网眼内径为1-2mm。