[实用新型]一种单晶硅棒套圆治具有效
| 申请号: | 202120745887.2 | 申请日: | 2021-04-13 |
| 公开(公告)号: | CN216503902U | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
| 发明(设计)人: | 姚亚君 | 申请(专利权)人: | 科莱思半导体智造(浙江)有限公司 |
| 主分类号: | B24B5/50 | 分类号: | B24B5/50;B24B5/35;B24B55/02;B24B55/00 |
| 代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 樊岑遥 |
| 地址: | 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 棒套圆治具 | ||
本实用新型涉及单晶硅棒加工领域,具体涉及一种单晶硅棒套圆治具,包括刀具本体、调节机构、固定机构、定位机构、冷却机构和可拆卸机构,刀具本体设置在磨削机上,固定机构设置在刀具本体的外侧,调节机构设置在刀具本体上,定位机构设置在刀具本体的底端外侧,可拆卸机构设置在刀具本体的顶部,本实用新型的一种单晶硅棒套圆治具,在更换刀具时通过可拆卸机构可以方便的将刀具取下,流程简单,并且本实用新型的一种单晶硅棒套圆治具在磨削不同规格的单晶硅棒时通过定位机构对磨削尺寸较进行检测,之后通过调节机构对刀具进行调节,此时就可以对不同规格的单晶硅棒进行磨削,节约了时间。
技术领域
本实用新型涉及单晶硅棒加工领域,具体涉及一种单晶硅棒套圆治具。
背景技术
单晶硅也叫硅单晶,是一种比较活泼的非金属元素,具有基本完整的点阵结构的晶体,是晶体材料的重要组成部分,一直处于新能源发展的前沿,单晶硅是一种良好的半导材料,主要用于半导体材料和太阳能光伏产业。
现有的一些单晶硅棒加工用的筒形刀具在更换刀具时需要将整个刀具以及刀柄取下,流程过于复杂,并且现有的一些单晶硅棒加工用的筒形刀具在磨削不同规格的单晶硅棒时需要更换刀具,造成时间的浪费。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒套圆治具。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
提供一种单晶硅棒套圆治具,包括刀具本体、调节机构、固定机构、定位机构、冷却机构和可拆卸机构,刀具本体固定设置在磨削机上,固定机构固定设置在刀具本体的外侧用与固定刀具,调节机构设置在刀具本体上用于刀具直径的调节,定位机构固定设置在刀具本体的底端外侧用于测量单晶硅棒的尺寸,冷却机构设置在刀具本体和调节机构之间用于磨削时的冷却,可拆卸机构设置在刀具本体的顶部用于拆卸刀具。
进一步的,刀具本体包括刀柄、四个筒形刀具和四个金刚砂镀层,刀柄固定设置在磨削机上,每个筒形刀具均设置在调节机构的底端,每个金刚砂镀层均固定设置在一个筒形刀具的底端。
进一步的,调节机构包括圆盘、四个滑块、四个导轨和四个限位滑条,圆盘位于刀柄的底部,每个导轨均固定设置在圆盘的底端,每个滑块均与一个导轨滑动连接,每个筒形刀具均设置在滑块的底端,且每个筒形刀具均与一个滑块固定连接,每个筒形刀具的底端一侧上开设有一个滑槽,每个限位滑条均固定设置在筒形刀具远离滑槽的一侧。
进一步的,固定机构包括第一固定条、固定螺栓、螺母和三个第二固定条,第一固定条固定设置在一个筒形刀具的顶端外侧,且第一固定条上开设有一个滑槽,每个第二固定条均固定设置在一个筒形刀具的顶端外侧,且第一固定条与三个第二固定条形成一个固定圈,靠近滑槽的一个第二固定条上开设有一个通孔,固定螺栓固定设置在通孔中,固定螺栓的末端设置有一个螺纹,螺母设置在螺纹上。
进一步的,定位机构包括固定滑板和定位滑板,固定滑板固定设置在一个筒形刀具的底端外侧,且固定滑板上开设有一个滑槽,定位滑板可滑动的设置在滑槽中。
进一步的,冷却机构包括四个导管,所述圆盘内部开设有一个储水仓,圆盘的顶端开设有一个注水孔,圆盘的底端开设有四个个出水孔,每个滑块上均开设有一个第一注水轨道,每个导管的一端与一个出水孔连接,每个导管的另一端与第一注水轨道连接,所述筒形刀具的内部还开设有一个第二注水轨道,所述第二注水轨道的顶端开口与第一注水轨道的底端开口对应。
进一步的,可拆卸机构包括连接环,连接环固定设置在刀柄的底端,连接环与圆盘之间通过螺纹固定连接。
本实用新型的有益效果:本实用新型的一种单晶硅棒套圆治具,在更换刀具时通过可拆卸机构可以方便的将刀具取下,流程简单,并且本实用新型的一种单晶硅棒套圆治具在磨削不同规格的单晶硅棒时通过定位机构对磨削尺寸较进行检测,之后通过调节机构对刀具进行调节,此时就可以对不同规格的单晶硅棒进行磨削,节约了时间。
附图说明
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